专利名称

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一种银纳米电极及其制备方法

硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法

一种制作毛细管内部微液滴的装置

一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用

基于多孔氧化铝的薄膜组件及其制备方法

一种Ti纳米管

基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器及制备方法

基于EFAB工艺的光耦合式微机电密码锁及其制备方法

一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用

基于压电陶瓷的高速高精度宏微平台及切换方法

微流体器件及其制备方法、微流体系统

一种用于制备超滑滑块的探针

光调制热成像焦平面阵列的制作方法

CMOS湿度传感器及其形成方法

一种电磁式振动传感器及其制备方法

一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法

抗磁性材料制备高精度微测球的重力抵消装置

一种二维MXene功能化的InxGa1-xN纳米柱

一种用于微操作的低粘附力末端执行器及其制作方法

一种多级微纳马达的制备方法

用于微电极与柔性排线之间热压焊接的方法

复合阳极键合装置

微流动装置及微流动装置的控制设备

静电致动器和用于生产其的方法

一种用于MEMS器件制作的对准键合装置

差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片

纳米间隙原位活化的复合阳极键合方法

一种可扩展的套管型微流控芯片的制备方法

一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备

一种空腔式压力传感器及其制备方法

石英晶圆深微孔加工设备及方法

一种近红外光电器件的加工方法

一种MEMSSOI压力传感器及其制备方法

一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器

一种多级电热驱动MEMS执行器及其制造方法

制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法

微型立体器件及其制备方法和应用

自旋极化电流驱动的亚微米/纳米马达及其制作方法

一种加热光照控制合成的金纳米颗粒阵列结构及其合成方法

集成MOS器件的CMOS湿度传感器形成方法

基于SOI工艺的场发射离子中和器芯片的制造方法

大面积多级次表面褶皱结构及其制备

一种基于微针的外部传输的电喷射装置

一种基于单电子晶体管的电荷探针

激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂及其应用

一种柔性薄膜基底上微纳米结构的高精度制备方法

一种非光刻的介观尺度结构力学组装成型方法

多参数高通量SERS活性微针的制备方法及活性微针

一种高效率制备环状纳米间隙有序阵列的方法

一种基于溶剂蒸发的微米级凹坑生成方法

一种动态快速调控红外光透过率的柔性器件及其制备方法和应用

一种硅基异质集成4H-SiC外延薄膜结构的制备方法

一种用于制备纳米层状复合材料的模具及方法

一种复杂三维结构微通道的加工方法

一种全无机纳米流体二极管的制备方法

一种刻蚀方向可控的硅纳米孔结构制作方法

一种任意三维微结构的加工方法

打印式数字微流体装置的使用及其制造方法

一种具有短距离离子选择性的仿生纳米通道及其制备方法

一种检测柱状自组装薄膜结构的方法及其制备方法