申请号
专利名称
CN200910196795.7
非致冷红外探测器的低温真空封装结构及制作方法
CN201811298649.0
基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器及制备方法
CN202020945751.1
一种用于制备超滑滑块的探针
CN201921986314.8
一种制作毛细管内部微液滴的装置
CN201922248315.9
一种Ti纳米管
CN202021582014.6
集成机械能收集与振动检测功能的微器件
CN201811072690.6
一种基于键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法
CN201821437912.5
一种磁场传感器
CN201810869392.3
多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法
CN201811018589.2
一种基于二维材料制备三维结构的方法
CN200980135997.9
用于微流体系统的开关
CN201921499218.0
一种微结构及具有该微结构的柔性表层结构
CN201480026711.4
静电致动器中的弧形运动控制
CN201480030847.2
静电致动器和用于生产其的方法
CN201310107025.7
超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法
CN201810771605.9
微流体器件及其制备方法、微流体系统
CN201810464245.8
微型立体器件及其制备方法和应用
CN201810645797.9
一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用
CN201910064334.8
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
CN201811642516.0
一种近红外光电器件的加工方法
CN201910002217.9
基于SOI工艺的场发射离子中和器芯片的制造方法
CN200810056421.0
制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法
CN200710178773.9
石英晶圆深微孔加工设备及方法
CN201820249291.1
一种单片集成空间磁矢量传感器
CN201810311807.5
一种用于MEMS器件隔振的双层隔振结构及制备方法
CN201810270664.8
一种高效率制备环状纳米间隙有序阵列的方法
CN201810296533.7
一种石墨烯高温压力传感器封装方法
CN201810192918.9
一种银纳米电极及其制备方法
CN201811437611.7
用于微电极与柔性排线之间热压焊接的方法
CN201811466584.6
一种粘接单晶硅和蓝宝石的方法
CN201811232182.X
一种非光刻的介观尺度结构力学组装成型方法
CN201811347796.2
一种硅基异质集成4H-SiC外延薄膜结构的制备方法
CN201910263937.0
一种空腔式压力传感器及其制备方法
CN201711485958.4
一种仿秦岭箭竹叶防冰雪多层不等高微纳结构
CN201810088994.5
一种用于微操作的低粘附力末端执行器及其制作方法
CN201711324943.X
一种全无机纳米流体二极管的制备方法
CN200610147846.3
扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
CN200710064861.6
一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备
CN201710538235.X
抗磁性材料制备高精度微测球的重力抵消装置
CN201811150903.2
一种动态快速调控红外光透过率的柔性器件及其制备方法和应用
