申请号
专利名称
CN200910196795.7
非致冷红外探测器的低温真空封装结构及制作方法
CN201811298649.0
基于面外磁各向异性层的自旋霍尔纳米振荡器及制备方法
CN202020945751.1
一种用于制备超滑滑块的探针
CN201921986314.8
一种制作毛细管内部微液滴的装置
CN201922248315.9
一种Ti纳米管
CN202021582014.6
集成机械能收集与振动检测功能的微器件
CN201811072690.6
一种基于键合工艺的热式风速风向传感器及其制备方法
CN201821437912.5
一种磁场传感器
CN201810869392.3
多气隙阻性井型探测器、放大单元、基材及制备方法
CN201811018589.2
一种基于二维材料制备三维结构的方法
CN200980135997.9
用于微流体系统的开关
CN201921499218.0
一种微结构及具有该微结构的柔性表层结构
CN201480026711.4
静电致动器中的弧形运动控制
CN201480030847.2
静电致动器和用于生产其的方法
CN201310107025.7
超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法
CN201810645797.9
一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用
CN201910064334.8
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
CN201820249291.1
一种单片集成空间磁矢量传感器
CN201810311807.5
一种用于MEMS器件隔振的双层隔振结构及制备方法
CN201810270664.8
一种高效率制备环状纳米间隙有序阵列的方法
CN201810296533.7
一种石墨烯高温压力传感器封装方法
CN201810192918.9
一种银纳米电极及其制备方法
CN201711485958.4
一种仿秦岭箭竹叶防冰雪多层不等高微纳结构
CN201810088994.5
一种用于微操作的低粘附力末端执行器及其制作方法
CN201711324943.X
一种全无机纳米流体二极管的制备方法
CN200610147846.3
扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
CN201811150903.2
一种动态快速调控红外光透过率的柔性器件及其制备方法和应用
CN201711021125.2
大面积多级次表面褶皱结构及其制备
CN201710307431.6
一种仿瓶子草液膜快速搬运表面织构
CN201710869123.2
一种人工耳蜗电极及其制备方法
CN202010436325.X
一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用
CN201910139216.9
基于可控纳米裂纹实现的互补电阻开关器件及其控制方法
CN200610134820.5
差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片
CN201720405997.8
一种基于微针的外部传输的电喷射装置
CN201920019035.8
单壁碳纳米管的悬空结构
CN201910070822.X
一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法
CN201310742639.2
硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法
CN201921779152.0
一种二维MXene功能化的InxGa1-xN纳米柱
CN201710857898.8
一种多级电热驱动MEMS执行器及其制造方法
CN201510791836.2
一种电磁式振动传感器及其制备方法
