专利摘要
本发明公开了一种薄膜厚度测量方法及系统，该系统包括：照明光学装置，用于产生一锥状光束投射至样品的薄膜表面上一点；成像光学装置，包括聚焦透镜和图像采集模块；所述聚焦透镜将从样品表面反射的光按照入射角从小到大的顺序投射到所述图像采集模块上，所述图像采集模块探测得到样品表面光束的反射强度信息，并根据反射强度信息建立反射率与入射角度之间的关系曲线；薄膜厚度解析装置，利用反射率与入射角度之间的关系曲线和斯涅耳定律构建反射率与折射角度余弦值的函数，并通过对所述函数进行傅里叶变换解析得到样品的薄膜厚度。本发明不仅测量精度高，而且光路简单、紧凑稳定，成本低，易于实现在线测量。
专利附图
一种薄膜厚度测量方法及系统专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
动态评分
0.0