专利摘要
本发明公开了一种两轴梳齿式微加速度计,所述加速度计由从下到上依次设置的衬底层、键合层、第一结构层、第一绝缘层、基底层、第二绝缘层、第二结构层七层结构构成;两个梳齿式微加速度计,分别位于第一结构层和第二结构层,一个加速度计结构相对于另一个加速度计结构旋转90°;位于第二结构层的锚点通过第二绝缘层跟基底层连接,基底层再通过第一绝缘层跟第一结构层上的锚点连接,第一结构层的锚点再通过键合层跟衬底层连接;电极分布在第二结构层上和衬底层上。本发明两轴梳齿式微加速度计由两个梳齿式加速度计构成,并分别位于两层,占用面积小,体积小,能够降低成本;另外不需要装配,稳定性好,测量精度高。
专利附图
一种两轴梳齿式微加速度计专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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