专利摘要

本发明提出了一种基于CsPbBr3全无机钙钛矿纳米线的可见光光电探测器及其制备方法，器件的结构为透明玻璃/CsPbBr3钙钛矿纳米线薄膜/Au,其中通过无皂溶液法与离子交换法结合的两步法合成的CsPbBr3纳米线薄膜为钙钛矿吸光层。此器件展示了大的开关比和很强的水氧稳定性，在平均温度32oC，平均相对湿度75％的大气环境下放置约200h，其光电流衰减幅度小于4.9％；器件在强度为2.2mWcm‑2紫外光的持续照射10000s后器件光暗电流没有明显的衰减；该探测器光电探测范围为300‑540nm的可见光。该器件制作工艺简单，成本低，适合于大批量、大面积产业化生产。器件暗电流非常小，仅为100pA，有利于节约能源。本发明制作的探测器具有较高的响应度和探测灵敏度。

权利要求

1.一种基于CsPbBr₃全无机钙钛矿纳米线的可见光光电探测器，它主要由透明玻璃、钙钛矿吸光层、金属电极组成，其特征在于结构为透明玻璃/CsPbBr₃钙钛矿纳米线薄膜/Au的全无机钙钛矿平面探测器结构；其中透明玻璃层为衬底；通过无皂溶液法与离子交换法结合的两步法合成的CsPbBr₃钙钛矿纳米线薄膜是吸光层，也是兼具电子空穴传输功能的材料；金属电极是由Au叉指结构组成。

2.一种基于CsPbBr₃全无机钙钛矿纳米线的可见光光电探测器的制备方法，其步骤如下：

(1)分别用去离子水、丙酮、酒精超声透明玻璃衬底各20分钟，然后用紫外臭氧环境处理30分钟；

(2)采用无皂溶液法制备非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜

先将1M PbI₂溶解在DMF(N,N-二甲基甲酰胺)中，在70℃条件下保温12h使之充分溶解，然后过滤备用；将CsI溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；PbI₂溶液采用5000转60秒旋涂在透明玻璃衬底上，然后在热台上烤干，15分钟后，将带有PbI₂薄膜的衬底放置于CsI/甲醇溶液中浸泡6小时，然后烤干；

(3)用离子交换法将非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜转化为非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先将CsBr溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；将(2)步中得到的制备的非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜浸泡于CsBr/甲醇溶液中5分钟后取出；将异丙醇采用2500转20秒旋涂在带有纳米线薄膜的衬底上，放置于热台上烤干；

(4)通过退火将非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜转化为钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先待(3)步中得到的非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜完全烤干后，将热台温度快速提升到145℃～195℃的空气中退火，并在此温度下保持10分钟；待其颜色完全转变后取出，自然恢复到室温；

(5)最后采用蒸镀法覆盖金电极，蒸发前将叉指间距为100μm叉指掩膜板置于纳米线薄膜上，蒸发速率为 蒸镀的Au电极的厚度最终为60-80nm；

(6)检测样品性能

在步骤(3)退火，所制备样品在300-450nm范围的可见光照射并施加5V外部反向偏压时，有明显的光电响应；

至此，即可制作成一个完整的平面结构可见光的光电探测器。

说明书

技术领域

本发明涉及半导体纳米材料以及光电探测器技术领域，尤其是涉及将无皂溶液法与离子交换法结合起来制备全无机钙钛矿纳米线薄膜。通过不同纳米线生长时间和不同的退火温度以制备高性能的可见光的光电探测器。

背景技术

近年来，卤化物钙钛矿材料由于广泛的波长可调谐、高的载流子扩散长度等优点，其在太阳能电池、发光二极管以及其他光电器件领域收到广泛关注^[1,2]。对于探测器来说，有机-无机材料由于制备工艺简单、能耗低的可见光探测等优点备受瞩目。有机-无机杂化钙钛矿通过结合N型材料和P型材料，组成的PIN结构光电探测器，具有极高的探测度和响应速度，超过了现今市场上的主流硅基探测器^[3]；而通过在钙钛矿层上直接覆盖金属电极，制作成的平面结构光电探测器，则具有工艺简单，结构轻薄，材料利用率高等优点。但有机无机杂化钙钛矿探测器的稳定性存在问题，因为有机阳离子MA⁺(FA⁺)在氧气，湿热和紫外(UV)光环境下易受环境退化的影响。

由于合适的带隙和高量子效率，全无机卤化铅钙钛矿CsPbX₃(X＝I，Br，Cl)被认为是有机无机杂化钙钛矿的最适合的替代品^[4,5]。经过一段时间的发展，以全无机钙钛矿为基础的光电探测器各项光电性能已经不亚于杂化钙钛矿探测器。就稳定性而言，Cs基钙钛矿探测器远超MA⁺(FA⁺)基钙钛矿探测器。以最简单的全无机钙钛矿纳米晶薄膜探测器为例，其光电开关比可以达到10⁶，而响应时间仅为微秒级别^[6]。

纳米线被认为是最简单有效的纳米结构之一，铯铅溴全无机钙钛矿纳米线由于其较长的光载体寿命以及快速的电荷转移，很适合用作光电探测设备。之前有过很多关于铯铅溴纳米线的报道，这些报道中，大多利用传统的一锅法生产出超细纳米线，但利用它们组装成薄膜时还需要复杂的真空覆膜技术；也有些报道通过数次高速离心来提高纳米线的纯度，但可能破坏配体；甚至有的需要先合成纳米晶再合成纳米线，而在此过程中很容易产生额外的纳米片。这些关于铯铅溴纳米线的报道显示，无机铯铅溴纳米线的合成依赖着严苛的条件、复杂的工艺以及精密的仪器^[7]，且合成的纳米线并不足以制作高性能光电探测器。

而此次我们将无皂溶液法与离子交换法相结合，制备出了具有钙钛矿相的高质量铯铅溴(CsPbBr₃)纳米线。并且在此基础上成功地制作出了高性能的平面结构的光电探测器件，拥有优良的光电性能和很强的水氧、紫外稳定性。

参考文献

[1]H.P.Zhou,H.S.Duan,Q.Chen,Z.Hong,G.Li,S.Luo,J.B.You,T.B.Song,Y.S.Liu,Y.Yang,Interface engineering of highly efficient perovskite solar cells,Science 2014,345,542.

[2]M.Saliba,T.Matsui,J.Y.Seo,K.Domanski,J.P.Correa-Baena,M.K.Nazeeruddin,.S.M.Zakeeruddin,.W.Tress,A.Abate,A.Hagfeldt,and M. Cesium-containing triple cation perovskite solar cells:improved stability,reproducibility and high efficiency,Energy Environ.Sci.2016,9,1989.

[3].H.Zhou,P.Gui,Q.Yu,J.Mei,H.Wang and G.Fang,Self-powered,visible-blind ultraviolet photodetector based on n-ZnO nanorods/i-MgO/p-GaN structure light-emitting diodes.Journal of Materials Chemistry C,2015,3(5):990-994.

[4]R.Dong,Y.Fang,J.Chae,J.Dai,Z.Xiao,Q.Dong,Y.Yuan,A.Centrone,X.C.Zeng,J.Huang,High-gain and low-driving-voltage photodetectors based on organolead triiodide perovskites,Adv.Mater.2015,27,1912.

[5]Y.Lee,J.Kwang,C.H.Ra,W.J.Yoo,J.-H.Ahn,J.H.Park,J.H.Cho,High-Performance Perovskite–Graphene Hybrid Photodetector,Adv.Mater.2015,27,41.

[6]X.Li,F.Cao,D.Yu,J.Chen,Z.Sun,Y.Shen,Y.Zhu,L.Wang,Y.Wei and Y.Wu,All Inorganic Halide Perovskites Nanosystem:Synthesis,Structural Features,Optical Properties and Optoelectronic Applications.Small,2017,13(9):1603996.

[7]Lai,M.,Kong,Q.,Bischak,C.G.,Yu,Y.,Dou,L.,Eaton,S.W.Eaton,Naomi S.Ginsberg,&Yang,P,Structural,optical,and electrical properties of phase-controlled cesium lead iodide nanowires.Nano Research.2017,10(4),1107-1114.

发明内容

基于上述技术背景，本发明提供一种基于CsPbBr₃全无机钙钛矿纳米线的可见光的光电探测器，其结构为透明玻璃/CsPbBr₃钙钛矿纳米线薄膜/Au的全无机钙钛矿平面探测器结构。该光电探测器的制备方法操作步骤简单，实验成本低廉，且所制备的CsPbBr₃全无机钙钛矿纳米线薄膜整体结构清晰，CsPbBr₃纳米线均匀网状排布于衬底之上。我们制作的探测器具有较高的响应度和探测灵敏度，较快的响应速度以及极强的紫外和水氧稳定性。

本发明是这样实现的。它主要由透明玻璃、钙钛矿吸光层、金属电极组成，其中通过无皂溶液法与离子交换法结合的两步法合成的CsPbBr₃钙钛矿纳米线是吸光层，也是兼具电子空穴传输功能的材料。金属电极是由Au叉指结构组成。

本发明的具体制备流程和工艺如下：

(1)分别用去离子水、丙酮、酒精超声透明玻璃衬底各20分钟，然后用紫外臭氧环境处理30分钟；

(2)采用无皂溶液法制备非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜

先将1M PbI₂溶解在DMF(N,N-二甲基甲酰胺)中，在70℃条件下保温12h使之充分溶解，然后过滤备用；将CsI溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；PbI₂溶液采用5000转60秒旋涂在透明玻璃衬底上，然后在热台上烤干，15分钟后，将带有PbI₂薄膜的衬底放置于CsI/甲醇溶液中浸泡6小时，然后烤干；

(3)用离子交换法将非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜转化为非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先将CsBr溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；将(2)中得到的制备的非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜浸泡于CsBr/甲醇溶液中5分钟后取出；将异丙醇采用2500转20秒旋涂在带有纳米线薄膜的衬底上，放置于热台上烤干。

(4)通过退火将非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜转化为钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先待(3)步中得到的非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜完全烤干后，将热台温度快速提升到145℃～195℃的空气中退火，并在此温度下保持10分钟；待其颜色完全转变后取出，自然恢复到室温。

(5)最后采用蒸发蒸镀的方法制备金电极，蒸发前将叉指掩膜板置于纳米线薄膜之上，蒸发速率为 蒸镀的Au电极的厚度最终为60-80nm；

(6)检测样品性能。

在步骤(3)退火后，所制备样品在300-450nm范围的可见光照射并施加5V外部反向偏压时，有明显的光电响应。

至此，即可制作成一个完整的可见光的光电探测器。

形貌和晶体结构测试采用紫外可见光分光光度计(MPC-3100SHIMADZU)，场致发射扫描电子显微镜(SEM)(JSM-7100F)和X射线衍射(XRD)(Bruker D8 Advance CuKa radiation)；光电性能(I-V,I-t)由半导体性能测试仪(Agilent Technologies B1500A)测试。这些测试分析结果分别列于附图中。

本发明的器件结构为透明玻璃/CsPbBr₃钙钛矿纳米线薄膜/Au(如图1所示)，该器件在5V偏压2.7mW cm^-2紫外光照射下开关比达到了150。同时，此器件展示了很强的水氧稳定性，在平均温度32，平均相对湿度75％的大气环境下放置约200h，其光电流衰减幅度小于4.9％；器件在强度为2.2mW cm^-2紫外光的持续照射10000s后器件光暗电流没有明显的衰减，可见其在紫外光照下良好的稳定性；该器件光电探测范围为300-540nm可见光。器件光暗电流都非常小，特别是暗电流，仅为100pA，有利于节约能源。本发明制作的探测器具有较高的响应度和探测灵敏度。此器件展示了较好的光电响应性能，其在165℃退火的器件展示了较高的响应度，其值在5V偏压下达7.26mA W^-1；而真空退火的器件的探测度很高，达到5.3*10¹¹cmHz W^-1/2的响应度。另外，此器件在100微米叉指间距的条件下，光响应的上升和下降时间仅为10ms/22ms，具有很高的响应速度。此器件制作工艺简单，成本低，适合于大批量、大面积产业化生产。

本发明的优点和特色之处在于：

(1)本发明中制作的光电探测器，制作工艺简单，实验原料成本低廉，制作周期短，适合大面积大规模工业化生产。

(2)本发明具有全无机钙钛矿和纳米线结构的双重特点。既具有很高的稳定性和光电响应，又具有很快的响应速度。

附图说明

图1是本发明的器件结构图。

图2不同生长时间CsPbI₃纳米线的XRD(a)和SEM(b)-(f)，插图是放大的SEM。

图3是本发明的探测器I-T特性曲线。

图4是本发明不同生长时间的纳米线组成的探测器在暗态和紫外光照下I-V特性曲线。

图5是本发明的探测器的(a)响应度曲线与(b)探测灵敏度曲线。

图6是本发明的探测器的不同光强下I-T曲线。

具体实施方式

下面通过实施例将能够更好地理解本发明。

实施例1：不同生长时间CsPbBr₃钙钛矿纳米线的探测器的制备：

(1)分别用去离子水、丙酮、酒精超声透明玻璃衬底各20分钟，然后用紫外臭氧环境处理30分钟；

(2)采用无皂溶液法制备非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜

先将1M PbI₂溶解在DMF(N,N-二甲基甲酰胺)中，在70℃条件下保温12h使之充分溶解，然后过滤备用；将CsI溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；PbI₂溶液采用5000转60秒旋涂在透明玻璃衬底上，然后在热台上烤干，15分钟后，将带有PbI₂薄膜的衬底放置于CsI/甲醇溶液中浸泡3-12小时，然后烤干；

(3)用离子交换法将非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜转化为非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先将CsBr溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；将(2)中得到的制备的非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜浸泡于CsBr/甲醇溶液中5分钟后取出；将异丙醇采用2500转20秒旋涂在带有纳米线薄膜的衬底上，放置于热台上烤干。

(4)通过退火将非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜转化为钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先待(3)中得到的非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜完全烤干后，将热台温度快速提升到165℃，并在此温度下保持10分钟；待其颜色完全转变后取出，自然恢复到室温。

(5)最后采用蒸发蒸镀的方法制备金电极，蒸发前将叉指掩膜板置于纳米线薄膜之上，蒸发速率为 蒸镀的Au电极的厚度最终为60-80nm；

(6)检测样品性能

将得到的纳米线薄膜进行XRD、SEM等表征分析，并对组装好的光电探测器测试I-t和I-V特性曲线、光电响应曲线和响应速度等性能。这些测试分析结果分别列于附图中。

实施例2：不同温度下退火的CsPbBr₃钙钛矿纳米线探测器的制备：

(1)分别用去离子水、丙酮、酒精超声透明玻璃衬底各20分钟，然后用紫外臭氧环境处理30分钟；

(2)采用无皂溶液法制备非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜

先将1M PbI₂溶解在DMF(N,N-二甲基甲酰胺)中，在70℃条件下保温12h使之充分溶解，然后过滤备用；将CsI溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；PbI₂溶液采用5000转60秒旋涂在透明玻璃衬底上，然后在热台上烤干，15分钟后，将带有PbI₂薄膜的衬底放置于CsI/甲醇溶液中浸泡6小时，然后烤干；

(3)用离子交换法将非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜转化为非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先将CsBr溶解在甲醇溶液中搅拌20分钟备用；将(2)中得到的制备的非钙钛矿相CsPbI₃纳米线薄膜浸泡于CsBr/甲醇溶液中5分钟后取出；将异丙醇采用2500转20秒旋涂在带有纳米线薄膜的衬底上，放置于热台上烤干。

(4)通过退火将非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜转化为钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜

先待(3)中得到的非钙钛矿相CsPbBr₃纳米线薄膜完全烤干后，将热台温度快速提升到145℃-195℃，并在此温度下保持10分钟；待其颜色完全转变后取出，自然恢复到室温。

(5)最后采用蒸发镀膜的方法制备金电极，蒸发前将叉指掩膜板置于纳米线薄膜之上，蒸发速率为 蒸镀的Au电极的厚度最终为60-80nm；

(6)检测样品性能

将得到的纳米线薄膜进行XRD、SEM等表征分析，并对组装好的光电探测器测试I-t和I-V特性曲线、光电响应曲线和响应速度等性能。这些测试分析结果分别列于附图中。

一种基于CsPbBr全无机钙钛矿纳米线的可见光光电探测器及其制备方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。