IPC分类号 : C23C14/35; C23C14/58; C23C14/08; C23C14/06
专利摘要
本发明公开了一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法,包括以下步骤:S1.用清洗剂超声清洗基材,清洗后干燥得透明导电衬底;S2.将S1中透明导电衬底送入沉积室中,通入比例为1:6的氧气与氩气,控制总压强为1Pa,靶材与透明导电衬底的距离为8cm,沉积载流子传输层,沉积时间15min;沉积完成之后将样品托盘送入刻蚀室,将采用直流等离子刻蚀透明导电衬底。与现有技术相比,工艺方面更加简单,同时能够与磁控溅射结合连续制备,不需要增加过多的成本,经济上可行;性能方面,界面处面积增加即可以提供更多的载流子分离与传输通道,抑制界面处的电子‑空穴对复合,从而提升样品的光电化学性能。
专利附图
一种优化载流子传导层电荷分离效率的方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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