专利摘要
本实用新型公开了一种半导体晶圆抛光装置。本实用新型包括底板，所述底板上方平行设有安装板，所述底板上端对称竖直固定安装有两个活塞杆，且两个活塞杆的伸缩端均与安装板下端固定连接，所述安装板上端固定连接有呈倒U型的安装架，所述安装架上端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的驱动端固定连接有驱动轴，且驱动轴贯穿安装板并与之转动连接，所述驱动轴的下端固定连接有限位块，所述驱动轴两侧贯穿有与安装板转动连接的研磨杆。本实用新型可对半导体晶圆进行双面抛光，且同时作用于两个位置，操作简便，抛光效率高，不影响工作环境。
权利要求
1.一种半导体晶圆抛光装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上方平行设有安装板(3)，所述底板(1)上端对称竖直固定安装有两个活塞杆(2)，且两个活塞杆(2)的伸缩端均与安装板(3)下端固定连接，所述安装板(3)上端固定连接有呈倒U型的安装架，所述安装架上端固定安装有驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的驱动端固定连接有驱动轴(5)，且驱动轴(5)贯穿安装板(3)并与之转动连接，所述驱动轴(5)的下端固定连接有限位块(13)，所述驱动轴(5)两侧贯穿有与安装板(3)转动连接的研磨杆(8)，所述驱动轴(5)上且位于安装板(3)上方固定套接有第一齿轮(6)，所述第一齿轮(6)左右两侧均啮合有第二齿轮(7)，两个所述第二齿轮(7)分别与两个研磨杆(8)的上端固定连接，两个所述研磨杆(8)下端均固定连接有工作块(9)，所述底板(1)上端中部固定连接有转轴(12)，所述转轴(12)上端转动连接有圆形的工作台(10)，所述驱动轴(5)、工作台(10)、转轴(12)的轴线重合，所述工作台(10)上端中心位置开设有与限位块(13)位置对应且形状相符的限位槽，所述工作台(10)上端与工作块(9)下端均固定连接有抛光垫(11)，所述工作台(10)上设有喷液装置，所述底板(1)下端固定连接有四个均匀分布的支撑腿。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆抛光装置，其特征在于，所述限位块(13)的形状呈十字型。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆抛光装置，其特征在于，所述喷液装置包括固定安装在底板(1)上的两个储液箱(14)，两个所述储液箱(14)关于转轴(12)对称，所述储液箱(14)外部装有空压机，所述空压机输出端与储液箱(14)连通，所述储液箱(14)上端连通有连通管(15)，所述连通管(15)上端横向固定连接有喷液块(16)，所述喷液块(16)内开设有喷液腔，所述喷液块(16)的下端面与抛光垫(11)接触连接，所述喷液块(16)的一侧均匀开设有与喷液腔连通的多个出液孔(17)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆抛光装置，其特征在于，所述喷液块(16)侧面为等腰梯形。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆抛光装置，其特征在于，所述底板(1)上端且在工作台(10)外侧固定连接有呈漏斗型的挡板(18)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆抛光装置，其特征在于，所述底板(1)上端且在挡板(18)内侧开设有呈环形分布的多个废液孔(19)，所述底板(1)下方且在多个废液孔(19)的对应位置上设置有环形的收集盒。
一种半导体晶圆抛光装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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