专利摘要
本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字微反射镜拼接中继系统包括数字微反射镜、三个抛物面反射镜；投影光学系统包括两个透镜组、孔径光阑，半导体激光器发出的激光经聚焦透镜入射到光纤均束器，从光纤均束器出来的光斑经扩束准直透镜组整形后的光斑到达平面反射镜，并经平面反射镜到达数字微反射镜，经数字微反射镜出来的光斑经第一、二抛物面反射镜反射至第三抛物面反射镜，经第三抛物面反射镜出来的光斑经第一透镜组及孔径光阑到达第二透镜组。本发明精度高，生产效率高，操作简便。
专利附图
一种大面积数字光刻光学系统专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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