专利摘要

专利摘要

本实用新型属于光刻机技术领域，尤其为一种半导体生产制造用光刻机，针对现有的光刻机大多不便于对其进行安装与拆卸的工作，从而导致光刻机的更换或维修工作耗时较久的问题，现提出如下方案，其包括光刻机本体、支撑柱与底座，所述支撑柱的底部固定安装在底座的顶部，光刻机本体的底部固定安装有矩形柱，所述矩形柱的外侧内壁上活动抵接有插板，插板的外侧与支撑柱的内壁滑动连接，插板的一侧延伸至支撑柱的外侧并固定安装有连接板，连接板的底部内壁上固定安装有第一弹簧。本实用新型结构设计合理，通过插板与矩形柱的卡接配合以及插杆与支撑柱的卡接，方便对光刻机本体进行快速的安装与拆卸工作，可靠性高。

权利要求

1.一种半导体生产制造用光刻机，包括光刻机本体(1)、支撑柱(2)与底座(3)，其特征在于，所述支撑柱(2)的底部固定安装在底座(3)的顶部，光刻机本体(1)的底部固定安装有矩形柱(4)，所述矩形柱(4)的外侧内壁上活动抵接有插板(5)，插板(5)的外侧与支撑柱(2)的内壁滑动连接，插板(5)的一侧延伸至支撑柱(2)的外侧并固定安装有连接板(6)，连接板(6)的底部内壁上固定安装有第一弹簧(9)，第一弹簧(9)的底端固定安装有滑动板(8)，滑动板(8)的底部一侧固定安装有插杆(10)，插杆(10)的外侧与支撑柱(2)的内壁活动抵接，所述连接板(6)的底部内壁上固定安装有竖直板(7)，竖直板(7)的外侧与滑动板(8)的内壁滑动连接，所述竖直板(7)的外侧固定安装有第二弹簧(13)，第二弹簧(13)的一端固定安装在支撑柱(2)的外侧内壁上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产制造用光刻机，其特征在于，所述竖直板(7)的外侧固定安装有导向杆(12)，导向杆(12)的外侧与支撑柱(2)的内壁滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产制造用光刻机，其特征在于，所述滑动板(8)的底部一侧固定安装有圆轴(11)，圆轴(11)的底端固定安装有圆球(14)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产制造用光刻机，其特征在于，所述滑动板(8)的顶部开设有滑动通孔，竖直板(7)的外侧与滑动通孔的内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产制造用光刻机，其特征在于，所述矩形柱(4)的外侧开设有卡槽，插板(5)的外侧与卡槽的内壁活动抵接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产制造用光刻机，其特征在于，所述连接板(6)的底部开设有矩形槽，圆轴(11)位于矩形槽的内部。

一种半导体生产制造用光刻机专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。