专利摘要

专利摘要

本实用新型属于半导体生产技术领域，尤其为一种半导体生产用静电消除装置，针对现有的半导体生产用静电消除设备的操作步骤复杂，静电消除效果不佳，且易产生灰尘残留的问题，现提出如下方案，其包括底框，所述底框内固定安装有放置网板，底框的顶部一侧固定安装有气缸，气缸的输出端上固定安装有横板，横板的底部固定安装有两个安装板，两个安装板的底部固定安装有同一个导电板，导电板的顶部开设有多个通孔。本实用新型带动两个吹风扇叶圆周运动的同时进行自转的对半导体上带静电的灰尘进行吹拂清理，并同时带动出风扇叶旋转对灰尘进行收集处理，且可控制导电板与半导体接触将静电荷释放，提升静电消除效率。

权利要求

1.一种半导体生产用静电消除装置，包括底框(1)，其特征在于，所述底框(1)内固定安装有放置网板(20)，底框(1)的顶部一侧固定安装有气缸(23)，气缸(23)的输出端上固定安装有横板(2)，横板(2)的底部固定安装有两个安装板，两个安装板的底部固定安装有同一个导电板(3)，导电板(3)的顶部开设有多个通孔，且导电板(3)的顶部一侧固定安装有导电线(19)，所述横板(2)的顶部开设有两个安装孔，两个安装孔内均转动安装有转轴(5)，转轴(5)的底端固定安装有转框(4)，转框(4)的顶部两侧均开设有竖向孔，两个竖向孔内均转动安装有竖轴(24)，竖轴(24)的底端和顶端分别固定安装有吹风扇叶(22)和小齿轮(21)，所述横板(2)的底部固定安装有内齿环(9)和连接板，连接板的底部固定安装有圆框(16)，两个小齿轮(21)均与内齿环(9)相啮合，且横板(2)顶部固定安装有电机(8)，电机(8)输出轴上固定连接有横轴(13)，横轴(13)上固定安装有第二锥齿轮(7)，第一锥齿轮(6)与第二锥齿轮(7)相啮合，横轴(13)的一端固定安装有第一带轮(11)，所述圆框(16)的顶部内壁上固定安装有安装杆，安装杆的底端固定安装有套筒(14)，套筒(14)内转动安装有转轴，转轴的两端分别固定安装有出风扇叶(15)和第二带轮(12)，第一带轮(11)和第二带轮(12)上传动安装有同一个皮带。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用静电消除装置，其特征在于，所述底框(1)的一侧底部开设有出风口，所述圆框(16)的外侧活动套接有盖筒(17)，盖筒(17)的一侧开设有通风孔，通风孔内固定安装有滤尘网(18)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用静电消除装置，其特征在于，所述盖筒(17)的外侧开设有多个螺纹孔，多个螺纹孔内均螺纹连接有螺栓杆，所述圆框(16)的外侧开设有多个卡槽，多个螺栓杆分别活动卡接在对应的卡槽内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用静电消除装置，其特征在于，所述底框(1)的顶部另一侧固定安装有导向板，所述横板(2)滑动套接有导向板的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用静电消除装置，其特征在于，所述转框(4)的顶部开设有多个进风孔(10)，多个进风孔(10)呈等间距均匀排布。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用静电消除装置，其特征在于，所述横板(2)的顶部一侧固定安装有定位板，定位板转动套接在横轴(13)的外侧。

一种半导体生产用静电消除装置专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。