专利摘要
本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片，相位图形片包括同一圆内的多个相邻夹角相等且圆心角相等的极边扇形，极边扇形被多个同心圆分割为多个间距成等差数列的曲边照明极块，入射光束经过反射镜反射到相位图形片后偏离主光轴产生一个倾角后，透射过掩膜板的图形的零级和一级衍射光经过投影透镜在晶圆片的光刻胶上形成干涉图案。通过将相位图形片的极边扇形分割为多个曲边照明极块，增加了照明极的数量，获得具有环形和极边照明的双重特征，增强了光刻分辨率，提高了焦深。
专利附图
一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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