专利摘要

专利摘要

本实用新型公开了一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的底部固定连接有底座，所述底座的两侧均固定连接有控制壳，所述控制壳的内腔设置有推板，所述推板的顶部固定连接有拉簧，所述推板的前侧固定连接有拨块。本实用新型通过设置推板、拉簧、拨块、定位壳、移动轮、调节板、卡杆、液压缸、支撑板、电机、螺纹杆、螺纹套、推块、升降壳、活动板、挤压块、弹性片、稳定板和支撑杆，解决了现有具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机不方便进行移动的问题，该具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，具备便于移动，不需要专用吊装设备的优点，值得推广。

权利要求

1.一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机本体（1），其特征在于：所述刻蚀机本体（1）的底部固定连接有底座（2），所述底座（2）的两侧均固定连接有控制壳（3），所述控制壳（3）的内腔设置有推板（4），所述推板（4）的顶部固定连接有拉簧（5），所述推板（4）的前侧固定连接有拨块（6），所述拨块（6）的前侧贯穿至控制壳（3）的外侧，所述推板（4）的底部固定连接有定位壳（7），所述定位壳（7）的底部固定连接有移动轮（8），所述移动轮（8）的底部贯穿至控制壳（3）的外侧，两个控制壳（3）相对一侧的底部均固定连接有调节壳（9），所述调节壳（9）的内腔设置有调节板（10），两个调节板（10）相反的一侧均固定连接有卡杆（11），所述卡杆（11）的表面套设有弹簧（12），所述卡杆（11）远离调节板（10）的一侧贯穿至控制壳（3）的内腔，所述底座（2）内腔的顶部固定连接有液压缸（13），所述液压缸（13）的底部贯穿至底座（2）的外侧，所述液压缸（13）输出端的底部固定连接有支撑板（14），所述底座（2）两侧的顶部均固定连接有电机（15），两个电机（15）相对一侧的输出端均固定连接有螺纹杆（16），所述螺纹杆（16）的表面套设有螺纹套（17），所述螺纹套（17）的底部固定连接有推块（18），两个调节壳（9）相对的一侧均设置有升降壳（19），所述升降壳（19）的顶部贯穿至底座（2）的内腔，所述升降壳（19）的内腔设置有活动板（20），所述活动板（20）的顶部固定连接有挤压块（21），所述挤压块（21）的顶部延伸至推块（18）的内腔，所述活动板（20）的底部固定连接有弹性片（22），所述升降壳（19）的底部设置有稳定板（23），所述稳定板（23）的顶部固定连接有支撑杆（24），所述支撑杆（24）的顶部贯穿至升降壳（19）的内腔并与活动板（20）固定连接，所述调节板（10）的顶部贯穿至底座（2）的内腔并与推块（18）接触。

2.根据权利要求1所述的一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述拉簧（5）的顶部与刻蚀机本体（1）固定连接，两个控制壳（3）相反一侧的底部均连通有设备壳，设备壳的内腔设置有气缸，两个气缸相对一侧的输出端均固定连接有橡胶块，两个气缸相反的一侧均与设备壳的内壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述控制壳（3）的底部开设有与移动轮（8）配合使用的开口，所述弹簧（12）的两侧分别与调节板（10）和调节壳（9）的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述液压缸（13）的两侧均设置有挡板，挡板的顶部和底部均与底座（2）的内壁固定连接，两个挡板相反的一侧均与螺纹杆（16）活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述螺纹套（17）的顶部固定连接有滑块，所述底座（2）内腔顶部的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽。

6.根据权利要求1所述的一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述支撑板（14）与稳定板（23）的底部均设置有防滑纹，所述底座（2）的表面开设有散热口。

一种具备自动追踪刻蚀终点功能的等离子体刻蚀机专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。