专利摘要

专利摘要

本实用新型公开了一种用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，属于晶体生长装置技术领域，包括恒压装置，其上设有箱门；空气压缩机；进气管道，其将所述空气压缩机与恒压装置连通；出气管道，其与所述恒压装置连接；第一压力表，其与所述恒压装置连接，用于监测恒压装置内的压强；所述进气管道及出气管道上均设有截止阀。本实用新型示例的恒压辅助系统，该系统可以对砷化镓晶体生长环境的压强进行精确的控制，能够有效的放置胀管、缩管的现象，提高了砷化镓单晶率，降低了生产成本，同时结构简单，安全环保。

权利要求

1.用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，包括：

恒压装置，其上设有箱门；

空气压缩机；

进气管道，其将所述空气压缩机与恒压装置连通；

出气管道，其与所述恒压装置连接；

第一压力表，其与所述恒压装置连接，用于监测恒压装置内的压强；

所述进气管道及出气管道上均设有截止阀。

2.根据权利要求1所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述进气管道上设有第一截止阀，所述进气管道上还设有第二压力表及控制阀。

3.根据权利要求1所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述出气管道上设有第三压力表，且在出气管道的末端设置有并联的第一管道及第二管道。

4.根据权利要求3所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述第一管道上设有第二截止阀，所述第二管道上设有第三截止阀。

5.根据权利要求4所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述第一管道上还设有安全阀。

6.根据权利要求1所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述箱门为可拆卸防爆门。

7.根据权利要求6所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述箱门上设有防爆观察窗及位于两端的把手。

8.根据权利要求6或7所述的用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，其特征在于，所述箱门与恒压装置通过螺丝螺母结构可拆卸连接。

用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。