专利摘要

专利摘要

本实用新型公开了一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体，所述固定壳体上端设置有加热电阻盘，所述加热电阻盘一侧设置有锁紧机构，且加热电阻盘通过锁紧机构与固定壳体固接，所述加热电阻盘上方设置有DP真空镀膜扩散泵，所述固定壳体下端设置有基座，所述基座通过螺栓与地面固定，且固定壳体内部设置有托顶机构；其中锁紧机构包括扣锁部和锁紧部，所述扣锁部固接在加热电阻盘上端，所述锁紧部固接在固定壳体上端。本实用新型通过在加热电阻盘上设置新的锁紧机构，锁紧机构为门栓式夹钳，将电阻盘固定在固定壳体侧边，无需降温，工作人员带上高温手套即可操作，使维护时间大大缩短，使用寿命大大提高。

权利要求

1.一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体(1)，其特征在于，所述固定壳体(1)上端设置有加热电阻盘(3)，所述加热电阻盘(3)一侧设置有锁紧机构(5)，且加热电阻盘(3)通过锁紧机构(5)与固定壳体(1)固接，所述加热电阻盘(3)上方设置有DP真空镀膜扩散泵(4)，所述固定壳体(1)下端设置有基座(2)，所述基座(2)通过螺栓与地面固定，所述固定壳体(1)内部设置有托顶机构(6)；

其中锁紧机构(5)包括扣锁部(51)和锁紧部(52)，所述扣锁部(51)固接在加热电阻盘(3)上端，所述锁紧部(52)固接在固定壳体(1)上端。

2.根据权利要求1所述的一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，其特征在于，所述扣锁部(51)包括固接在加热电阻盘(3)上的第一固定板(512)，所述第一固定板(512)上端固接有卡板(511)，所述卡板(511)为L形，所述第一固定板(512)和卡板(511)之间形成卡槽。

3.根据权利要求2所述的一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，其特征在于，所述锁紧部(52)包括第二安装板(522)，所述第二安装板(522)上的垂直设置有第三安装板(523)，所述第三安装板(523)中间通过销轴固接有按压手柄(524)，所述按压手柄(524)上贯穿设置有固定销轴(526)，所述固定销轴(526)两端平行套设有两个横杆(527)，所述两个横杆(527)顶端固接有卡柱(521)，所述卡柱(521)与横杆(527)垂直，所述横杆(527)上设置有锁紧螺栓(525)。

4.根据权利要求3所述的一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，其特征在于，所述卡柱(521)与卡板(511)之间卡接配合。

5.根据权利要求1所述的一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，其特征在于，所述托顶机构(6)包括安装块(63)，所述安装块(63)上端固接有气缸(62)，所述气缸(62)的活塞端上固接有托顶板(61)，所述托顶板(61)上方两侧设置有支杆(64)，所述支杆(64)固接在固定壳体(1)内壁上。

6.根据权利要求1所述的一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，其特征在于，所述加热电阻盘(3)表面涂有导热层，所述导热层为导热硅胶，所述加热电阻盘(3)上设置有若干散热片(31)，所述散热片(31)下方固接有安装基板(32)，所述安装基板(32)固接在加热电阻盘(3)的外表面。

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术，通常称为干式镀膜技术

目前，在镀膜行业中，原有加热盘使用螺母固定，经过高温后，加热盘变形，螺母特别不易拆装；且固定位置在DP真空镀膜扩散泵底部，操作人员必须趴在DP真空镀膜扩散泵下面才能拆下加热盘。等待DP真空镀膜扩散泵降温到80度以下(降温时间6-8小时)，更换一次时间长达12小时，不易维护。因此，本领域技术人员提供了一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体，所述固定壳体上端设置有加热电阻盘，所述加热电阻盘一侧设置有锁紧机构，且加热电阻盘通过锁紧机构与固定壳体固接，所述加热电阻盘上方设置有DP真空镀膜扩散泵，所述固定壳体下端设置有基座，所述基座通过螺栓与地面固定，且固定壳体内部设置有托顶机构；

其中锁紧机构包括扣锁部和锁紧部，所述扣锁部固接在加热电阻盘上端，所述锁紧部固接在固定壳体上端。

作为本实用新型进一步的方案：所述扣锁部包括固接在加热电阻盘的第一固定板，所述第一固定板上端固接有卡板，所述卡板为L形，所述第一固定板和卡板之间形成卡槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述锁紧部包括第二安装板，所述第二安装板上的垂直设置有第三安装板，所述第三安装板中间通过销轴固接有按压手柄，所述按压手柄上贯穿设置有固定销轴，所述固定销轴两端平行套设有两个横杆，所述两个横杆顶端固接有卡柱，所述卡柱与横杆垂直，所述横杆上设置有锁紧螺栓。

作为本实用新型再进一步的方案：所述卡柱与卡板之间卡接配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托顶机构包括安装块，所述安装块上端固接有气缸，所述气缸的活塞端上固接有托顶板，所述托顶板上方两侧设置有支杆，所述支杆固接在固定壳体内壁上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述加热电阻盘表面涂有导热层，所述导热层为导热硅胶，所述加热电阻盘上设置有若干散热片，所述散热片下方固接有安装基板，所述安装基板固接在加热电阻盘的外表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在加热电阻盘上设置新的锁紧机构，采用门栓式夹钳，将电阻盘固定在固定壳体侧边，无需降温，工作人员带上高温手套即可操作，使维护时间大大缩短，加热电阻盘使用寿命大大提高；

2、通过在加热电阻盘涂上导热硅胶，导热硅胶具有良好的导热性能和绝缘性能，能够将电阻产生的热量传递到安装基板上，安装基板上设置有若干散热片，可快速降温散热；

3、通过在固定壳体内设置有托顶机构，经过气缸推动加热电阻盘，可快速实现加热电阻盘的更换，不用人工处理，节省劳力。

附图说明

图1为一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置的结构示意图；

图2为一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置中的锁紧机构的结构示意图；

图3为一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置中的托顶机构的结构示意图；

图4为一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置中的加热电阻盘的结构示意图。

图中：1、固定壳体；2、基座；3、加热电阻盘；31、散热片；32、安装基板；4、DP真空镀膜扩散泵；5、锁紧机构；51、扣锁部；511、卡板；512、第一固定板；52、锁紧部；521、卡柱；522、第二安装板；523、第三安装板；524、按压手柄；525、锁紧螺栓；526、固定销轴；527、横杆；6、托顶机构；61、托顶板；62、气缸；63、安装块；64、支杆。

具体实施方式

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体1，固定壳体1上端设置有加热电阻盘3，加热电阻盘3一侧设置有锁紧机构5，且加热电阻盘3通过锁紧机构5与固定壳体1固接，加热电阻盘3上方设置有DP真空镀膜扩散泵4，固定壳体1下端设置有基座2，基座2通过螺栓与地面固定，且固定壳体1内部设置有托顶机构6；托顶机构6包括安装块63，安装块63上端固接有气缸62，气缸62的活塞端上固接有托顶板61，托顶板61上方两侧设置有支杆64，支杆64固接在固定壳体1内壁上，通过在固定壳体1内设置有托顶机构6，经过气缸62推动加热电阻盘3上升，方便加热电阻盘3的更换，不用人工处理，节省劳力。

其中锁紧机构5包括扣锁部51和锁紧部52，扣锁部51固接在加热电阻盘3上端，锁紧部52固接在固定壳体1上端，扣锁部51包括固接在加热电阻盘3的第一固定板512，第一固定板512上端固接有卡板511，卡板511为L形，第一固定板512和卡板511之间形成卡槽，锁紧部52包括第二安装板522，第二安装板522上的垂直设置有第三安装板523，第三安装板523中间通过销轴固接有按压手柄524，按压手柄524上贯穿设置有固定销轴526，固定销轴526两端平行套设有两个横杆527，两个横杆527顶端固接有卡柱521，卡柱521与横杆527垂直，横杆527上设置有锁紧螺栓525，卡柱521与卡板511之间卡接配合，将加热电阻盘3放入固定壳体1内，固定壳体1内壁上设置有支杆64可防止加热电阻盘3掉落，再将设置在固定壳体1上方的按压手柄524向左扳动，从而将卡柱521卡接在加热电阻盘3上端的卡板511中，再将扳动按压手柄524向右扳动，把卡柱521和卡板511之间锁紧，再拧紧锁紧螺栓525，实现加热电阻盘3和固定壳体1的安装。

加热电阻盘3表面涂有导热层，导热层为导热硅胶，加热电阻盘3上设置有若干散热片31，散热片31下方固接有安装基板32，安装基板32固接在加热电阻盘3的外表面，当加热完成后，通过在加热电阻盘3涂上导热硅胶，导热硅胶具有良好的导热性能和绝缘性能，能够将电阻盘产生的热量传递到安装基板32上，安装基板32上设置有若干散热片31，可快速降温散热，方便加热电阻盘3的更换。

本实用新型的工作原理是：在使用真空镀膜扩散泵加热装置之前，首先需要对整个装置的结构进行简单的了解，使用者在进行使用时，首先将加热电阻盘3放入固定壳体1内，固定壳体1内壁上设置有支杆64可防止加热电阻盘3掉落，再将设置在固定壳体1上方的按压手柄524向左扳动，从而将卡柱521与加热电阻盘3上端的卡板511卡接，再将扳动按压手柄524向右扳动，把卡柱521和卡板511之间锁紧，通过拧紧锁紧螺栓525，实现加热电阻盘3和固定壳体1的安装；当加热完成后，通过在加热电阻盘3涂上导热硅胶，导热硅胶具有良好的导热性能和绝缘性能，能够将加热电阻盘3产生的热量传递到安装基板32上，安装基板32上设置有若干散热片31，可快速降温散热，方便加热电阻盘3的更换；通过在固定壳体1内设置有托顶机构6，经过气缸62推动加热电阻盘3上升，方便加热电阻盘3的更换，不用人工处理，节省劳力。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。