专利摘要

专利摘要

本发明涉及一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，所述系统包括衬底、第一微机械结构、第二微机械结构以及第三微机械结构、第一可调耦合结构、第二可调耦合结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路DB。第一微机械结构、第二微机械结构和第三微机械结构之间通过可调耦合结构连接，且两两镜像对称。第一可调阻尼电路作用于第一微机械结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机械结构的等效阻尼符号相反、大小相等。本发明是基于PT对称原理的系统，有利于进一步完善PT对称理论体系；三阶PT对称结构能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能；该方案有助于发现微机电系统的新现象或新效应。

权利要求

1.一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述敏感系统包括包括衬底（8）、第一微机械结构（1）、第二微机械结构（2）、第三微机械结构（3）、第一可调耦合结构（4）、第二可调耦合结构（5）、第一可调阻尼电路（6）和第二可调阻尼电路（7）；其中第一微机械结构（1）、第二微机械结构（2）、第三微机械结构（3）、第一可调耦合结构（4）以及第二可调耦合结构（5）设置在衬底（8）上；第三微机械结构（3）设置在第一微机械结构（1）和第二微机械结构（2）之间，其中第三微机械结构（3）和第一微机械结构（1）通过第一可调耦合结构（4）连接，第三微机械结构（3）和第二微机械结构（2）通过第二可调耦合结构（5）连接；第一可调阻尼电路（6）通过引线（9）连接第一微机械结构（1）；第二可调阻尼电路（7）通过引线（9）连接第二微机械结构（2）。

2.根据权利要求1所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一微机电结构（1）包括第一谐振梁（11）、第一谐振梁上电极和锚区（12）、第一谐振梁下电极和锚区（13）、第一反馈梁（14）、第一反馈上梁（15）、第一反馈上梁电极和锚区（16）、第一反馈下梁（17）、第一反馈下梁电极和锚区（18）、第一平衡梁一（19）、第一平衡梁二（110）、第一左连接梁（111）和第一右连接梁（112）；第一谐振梁（11）的上、下部分分别连接到第一谐振梁上电极和锚区（12）、第一谐振梁下电极和锚区（13）；第一谐振梁（11）的左边通过左连接梁（111）连接第一反馈梁（14）和第一平衡梁一（19）；第一谐振梁（11）的右边通过第一右连接梁（112）连接第一平衡梁二（110）；第一反馈梁（14）和第一反馈上梁（15）相互靠近形成反馈上电容；第一反馈梁（14）和第一反馈下梁（17）相互靠近形成反馈下电容。

3.根据权利要求2所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第二微机电结构（2）包括第二谐振梁（21）、第二谐振梁上电极和锚区（22）、第二谐振梁下电极和锚区（23）、第二反馈梁（24）、第二反馈上梁（25）、第二反馈上梁电极和锚区（26）、第二反馈下梁（27）、第二反馈下梁电极和锚区（28）、第二平衡梁一（29）、第二平衡梁二（210）、第二左连接梁（211）和第二右连接梁（212）；第二谐振梁（21）的上、下部分分别连接到第二谐振梁上电极和锚区（22）、第二谐振梁下电极和锚区（23）；第二谐振梁（21）的左边通过第二左连接梁（211）连接第二反馈梁（24）和第二平衡梁（29）；第二谐振梁（21）的右边通过第二右连接梁（212）连接第二平衡梁一（210）；第二反馈梁（24）和第二反馈上梁（25）相互靠近形成反馈上电容；第二反馈梁（24）和第二反馈下梁（27）相互靠近形成反馈下电容。

4.根据权利要求3所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第三微机电结构（3）包括第三谐振梁（31）、第三谐振梁上电极和锚区（32）、第三谐振梁下电极和锚区（33）、第三平衡梁一（34）、第三平衡梁二（35）,第三谐振梁（31）的上、下部分分别连接到第三谐振梁上电极和锚区（32）、第三谐振梁下电极和锚区（33）；第三谐振梁（31）的左边连接到第三平衡梁一（34），第三谐振梁（31）的右边连接到第三平衡梁二（35）。

5.根据权利要求3或4所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述可第一调耦合结构（4）包括，第一上机械耦合梁（41），第一上叉指梁（42）和第一上叉指梁电极和锚区（43），第一下机械耦合梁（44），第一下叉指梁（45）和第一下叉指梁电极和锚区（46）；第一上机械耦合梁（41）一端连接第一谐振梁（11）上部，一端连接第三谐振梁（31）上部；第一下机械耦合梁（44）一端连接第一谐振梁（11）下部，一端连接第三谐振梁（31）下部；所述第二可调耦合结构（5）包括，第二上机械耦合梁（51），第二上叉指梁（52）和第二上叉指梁电极和锚区（53），下机械耦合梁（54），第二下叉指梁（55）和第二下叉指梁电极和锚区（56）；第二上机械耦合梁（51）一端连接第二谐振梁（21）上部，一端连接第三谐振梁（31）上部；第二下机械耦合梁（54）一端连接第二谐振梁（21）下部，一端连接第三谐振梁（31）下部。

6.根据权利要求5所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一可调阻尼电路（6）和第二可调阻尼电路（7）结构相同，包括输出端口（61）、输出端口（62），跨阻放大器（63），带通滤波器（64），增益控制器（65)以及相位控制器(66)；输入端口(62)连接到跨阻放大器(63)的输入，跨阻放大器(63)的输出连接到带通滤波器(64)的输入，带通滤波器（64）的输出连接到增益控制器65，增益控制器65的输出连接到相位控制器(66)的输入，相位控制器（66）的输出连接到输出端口（61）。

7.根据权利要求5所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一可调阻尼电路（6）的输入（62）和输出（61）通过引线（9）连接到第一微机械结构（1）的第一反馈上梁电极和锚区（16）、第一反馈下梁电极和锚区（18）；所述第二可调阻尼电路（7）的输入（62）和输出（61）通过引线（9）连接到第二微机械结构（2）的第二反馈上梁电极和锚区（26）、第二反馈下梁电极和锚区（28）。

8.根据权利要求6所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一微机械结构1和第三微机械结构（3）按M-M’线镜像对称且质量相等；所述第二微机械结构（2）和第三微机械结构（3）按N-N’线镜像对称且质量相等；所述第一可调耦合结构（4）的上、下部分按S-S’线镜像对称且质量相等；所述第二可调耦合结构（5）的上、下部分按S-S’线镜像对称且质量相等。

9.根据权利要求6所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一可调阻尼电路（6）作用于第一微机械结构（1）的等效阻尼和第二可调阻尼电路（7）作用于第二微机械结构（2）的等效阻尼符号相反、大小相等。

10.根据权利要求5所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一上叉指梁电极和锚区（43）、第一下叉指梁电极和锚区（46）、第二上叉指梁电极和锚区（53）、第二下叉指梁电极和锚区（56）连接相同电位。

一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。