专利摘要

专利摘要

本实用新型提供了一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其有效减少了应力刚化效应、平台的运动耦合及伴生转动的影响，提高平台的定位精度。其包括基座、动平台、第一柔性支链、第二柔性支链以及驱动器，第一柔性支链包括柔性模块一、连接杆、柔性模块二，柔性模块一包括中部刚性连接部和簧片，柔性模块二与动平台连接；第二柔性支链包括柔性模块三、连接杆、柔性模块二，柔性模块三包括中心刚性连接部和簧片，连接杆一端与中心刚性连接部连接，另一端与柔性模块二连接，柔性模块二与动平台连接；柔性模块二包括呈刚性连接框、柔性杆、刚性连接块一和刚性连接块二。

权利要求

1.一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其包括基座、动平台、第一柔性支链、第二柔性支链以及驱动器，所述第一柔性支链、所述动平台位于XY平面内并且所述第一柔性支链分布在所述动平台四周，所述第二柔性支链位于Z轴方向上并且位于所述基座和所述动平台之间，其特征在于：所述第一柔性支链包括呈一字形的柔性模块一、与所述柔性模块一垂直设置的连接杆、与所述柔性模块一垂直设置的柔性模块二，所述柔性模块一包括中部刚性连接部和位于所述中部刚性连接部两侧的簧片，所述连接杆一端与所述中部刚性连接部连接，另一端与所述柔性模块二连接，所述柔性模块二与所述动平台连接；所述第二柔性支链包括呈十字形的柔性模块三、与所述柔性模块三垂直设置的连接杆、与所述柔性模块三垂直设置的柔性模块二，所述柔性模块三包括中心刚性连接部和位于所述中心刚性连接部四周的簧片，所述连接杆一端与所述中心刚性连接部连接，另一端与所述柔性模块二连接，所述柔性模块二与所述动平台连接；所述柔性模块二包括呈方形的刚性连接框、柔性杆、刚性连接块一和刚性连接块二，所述柔性杆一端分别与刚性连接框四条边框的中点连接，其中相对的两根所述柔性杆与刚性连接块一连接，另外两根所述柔性杆分别与刚性连接块二连接，所述刚性连接块一与所述连接杆连接，所述刚性连接块二与所述动平台连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述驱动器包括X向驱动器、Y向驱动器和Z向驱动器，两根相邻的第一柔性支链分别与所述X向驱动器和所述Y向驱动器连接，所述X向驱动器和所述Y向驱动器分别与所述中部刚性连接部连接，所述第二柔性支链与所述Z向驱动器连接，所述Z向驱动器与所述中心刚性连接部连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于所述中部刚性连接部两侧的簧片一端与所述中部刚性连接部连接另一端连接有刚性固定连接部一，位于所述中心刚性连接部四周的簧片一端与所述中心刚性连接部连接另一端连接有固定连接部二，所述固定连接部二与所述基座连接，所述固定连接部一与所述基座的支柱连接。

4.根据权利要求3所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述基座呈方形，所述固定连接部二与所述基座每条边的中点连接，所述支柱位于所述基座相邻两条边的连接点处。

5.根据权利要求4所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于XY平面内，用于连接所述驱动器的安装支架分别与所述固定连接部一连接；在Z轴方向上，用于连接所述驱动器的安装支架与基座底部连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于所述中部刚性连接部两侧的簧片分别有两个并且平行设置并且其与连接在中部刚性连接部上的连接杆垂直设置。

7.根据权利要求1或6所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：位于所述中心刚性连接部四周的簧片分别有两个并且平行设置并且其与连接在中心刚性连接部上的连接杆垂直设置。

8.根据权利要求1所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：同一个所述柔性模块一同时连接有两根平行设置的所述连接杆和两个所述柔性模块二。

9.根据权利要求1或8所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述第二柔性支链包括四根所述连接杆和四个所述柔性模块二，四个所述连接杆和所述柔性模块二呈十字形连接在所述中心刚性连接部上，相对的两个所述柔性模块二平行设置，相邻的两个所述柔性模块二垂直设置。

10.根据权利要求1所述的一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其特征在于：所述刚性连接块二呈长方体形状，当所述刚性连接块二与所述动平台连接时，其上表面与所述动平台上表面平行。

一种基于2T3R型柔性运动副的微定位平台专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。