专利转让平台_买专利_卖专利_中国高校专利技术交易-买卖发明专利上知查网

全部分类
全部分类
采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统

采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统

IPC分类号 : G12B5/00

申请号
CN202022330944.9
可选规格

    看了又看

  • 专利类型:
  • 法律状态: 有权
  • 公开号: CN213483420U
  • 公开日: 2021-06-18
  • 主分类号: G12B5/00
  • 专利权人: 中国科学院微电子研究所

专利摘要

专利摘要

一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台,包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座,其中,所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接,使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上,即平台底座的一部分跨过X轴工作机构,从而与Y轴工作机构的某一部位连接。本实用新型提出的跨层连接叠层结构用跨层交叉连接方式取代了中间层转接基座的作用,能够有效减小平台厚度和质量。

权利要求

1.一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台,其特征在于,包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座,其中,

所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接,使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上,即平台底座的一部分跨过X轴工作机构,从而与Y轴工作机构的某一部位连接。

2.根据权利要求1所述的柔性定位平台,其特征在于,所述柔性定位平台采用的材料为Al-7075。

3.根据权利要求1所述的柔性定位平台,其特征在于,所述柔性定位平台的柔性结构包括Y轴工作机构和X轴工作机构,由金属线切割加工而成;结构设计时要保证Y轴工作机构和X轴工作机构中的板簧厚度以及柔性铰链缺口处厚度的尺寸不得小于0.2mm。

4.根据权利要求1所述的柔性定位平台,其特征在于,所述X轴工作机构和Y轴工作机构形状相同,放置方向互相垂直。

5.根据权利要求1所述的柔性定位平台,其特征在于,所述X轴工作机构或Y轴工作机构包括桥式放大器、压电陶瓷、导向结构和解耦结构,其中,所述桥式放大器与压电陶瓷直接接触,用于对输入位移进行放大后输出。

6.根据权利要求5所述的柔性定位平台,其特征在于,所述X轴工作机构或Y轴工作机构的导向结构部分包含八个板簧,设置于所述桥式放大器的两端,用于抑制不平衡的运动。

7.根据权利要求5所述的柔性定位平台,其特征在于,所述解耦结构设置在所述X轴工作机构或Y轴工作机构的最外圈的部分,用于将X轴方向位移运动和Y轴方向位移分离,使其互不干扰。

8.根据权利要求5所述的柔性定位平台,其特征在于,在所述桥式放大器上加工减重孔,在底层基座上加工一体化立柱穿过减重孔,用于为桥式放大器提供固定锚点。

9.一种原子力显微镜系统,其特征在于,包括如权利要求1-8任一项所述的柔性定位平台。

采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

动态评分

0.0

没有评分数据
没有评价数据