专利摘要
本实用新型提供了一种面内滑动式MEMS开关，包括基底、驱动部件以及滑动部件，滑动部件设于基底上，基底和滑动部件通过超滑面实现原子级光滑表面接触；驱动部件包括设于基底内部的两个第一电极件以及设于基底外部的第二电极件，第一电极件与第二电极件相对设置，且滑动部件设于第一电极件和第二电极件之间，第二电极件接地连接，对任一第一电极件施加电压，另一第一电极件接地。滑动部件设置在第一电极件和第二电极件之间，使得滑动部件的两侧可以形成压差，驱动滑动部件能够在基底上往复运动，进而实现开关的效果，且第二电极件设置在基底的外部，可以直接在第一电极件和第二电极件之间形成电场，能够实现较低的驱动电压及实现滑动部件的驱动。
权利要求
1.面内滑动式MEMS开关，包括基底、驱动部件以及滑动部件，其特征在于：所述滑动部件设于所述基底上，所述基底和所述滑动部件通过超滑面实现原子级光滑表面接触；所述驱动部件包括设于所述基底内部的两个第一电极件以及设于所述基底外部的第二电极件，所述第一电极件与所述第二电极件相对设置，且所述滑动部件设于所述第一电极件和所述第二电极件之间，所述第二电极件接地连接，对任一所述第一电极件施加电压，另一所述第一电极件接地。
2.如权利要求1所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：所述第二电极件设于所述滑动部件的上方，所述第二电极件与所有所述第一电极件在垂直方向上均具有正对面积。
3.如权利要求2所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：所述第二电极件和所述滑动部件之间具有间隙。
4.如权利要求1所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：两个所述第一电极件均设于所述基底的内部，且所述第一电极件的上表面不超出所述基底的上表面。
5.如权利要求1所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：所述滑动部件包括超滑片，所述超滑片设于所述基底上，所述超滑片位于所述基底和所述第二电极件之间。
6.如权利要求5所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：所述滑动部件还包括设于所述超滑片上的绝缘层，所述绝缘层位于所述超滑片和所述第一电极件之间。
7.如权利要求6所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：所述绝缘层的介电常数小于或等于100。
8.如权利要求1至7任一项所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：初始位置时，所述滑动部件在宽度方向上与所述第一电极件和所述第二电极件相对齐，且所述滑动部件位于两个所述第一电极件之间。
9.如权利要求1至7任一项所述的面内滑动式MEMS开关，其特征在于：所述第二电极件的横截面的面积大于单个所述第一电极件的横截面的面积。
面内滑动式MEMS开关专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
动态评分
0.0