专利摘要
本发明公开了一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置,包括相干光源、扩束准直系统、尺寸可调光阑、X‑Y二维位移台、待测样品、二元光栅、平行平板、聚焦透镜、挡板和CCD,相干光源发出的光束经扩束准直系统和尺寸可调光阑后,照射到放置在X‑Y二维移动平台上的待测样品上,二元光栅将经待测样品调制后的光束分为0级衍射光和±1级功能错位光,调节平行平板的角度可改变错位光束位置,再结合聚焦透镜,可在CCD上形成具有不同错位量的光斑,等分CCD,提取各错位光斑数据,代入到相位复原方法中,复原出高分辨的样品相位。本发明将叠层成像与错位成像方法结合,简化系统结构,无CCD位移装置,实现了高速、高效、大视场、高分辨成像。
专利附图
一种无CCD位移装置的高分辨错位叠层成像装置专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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