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一种用于制备超滑滑块的探针

一种用于制备超滑滑块的探针

IPC分类号 : B81B1/00,B81C1/00

申请号
CN202020945751.1
可选规格

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  • 专利类型:
  • 法律状态: 有权
  • 公开号: CN213060192U
  • 公开日: 2021-04-27
  • 主分类号: B81B1/00
  • 专利权人: 深圳清华大学研究院,清华大学

专利摘要

专利摘要

本新型提供了一种用于制备超滑滑块的探针,包括钨丝和探针尖端,其中,通过聚焦离子束刻蚀等方法,在探针尖端处刻蚀出一个平台,使用时用该平台与超滑滑块接触,并使用探针从顶部接触超滑滑块,施加正压力和剪切力,从而推动滑块。该探针可以避免在超滑滑块较大时,滑块在探针推动下发生屈曲失稳从而收到破坏的问题。

权利要求

1.一种用于制备超滑滑块的探针,其特征在于,包括第一部分(4),尖端部分(5),平台部分(6),所述第一部分(4)的直径为0.1~0.5mm,所述尖端部分(5)的曲率半径为1~10μm,所述平台部分(6)位于所述尖端部分(5)的前端,用来接触超滑滑块。

2.根据权利要求1所述的探针,其特征在于,所述探针是钨探针。

3.根据权利要求1所述的探针,其特征在于,所述第一部分是钨丝。

4.根据权利要求1所述的探针,其特征在于,所述平台部分(6)的尺寸与其待接触的超滑滑块尺寸接近。

5.根据权利要求1-4任一项所述的探针,其特征在于,所述平台部分(6)的尺寸为2~8μm。

6.根据权利要求1-4任一项所述的探针,其特征在于,所述平台部分(6)的通过聚焦离子束刻蚀出。

7.根据权利要求1-4任一项所述的探针,其特征在于,所述平台部分(6)与所述尖端部分(5)成一定的倾角。

8.根据权利要求1-4任一项所述的探针,其特征在于,所述尖端部分(5)通过电化学腐蚀法制备。

一种用于制备超滑滑块的探针专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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