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一种高能微焦点X射线生产设备

一种高能微焦点X射线生产设备

IPC分类号 : H05G2/00,G01N23/046,G01B15/00

申请号
CN202022735994.5
可选规格

    看了又看

  • 专利类型:
  • 法律状态: 有权
  • 公开号: CN213305834U
  • 公开日: 2021-05-28
  • 主分类号: H05G2/00
  • 专利权人: 中国工程物理研究院应用电子学研究所

专利摘要

专利摘要

本实用新型公开一种高能微焦点X射线生产设备,包括用于生成高能电子束的电子源组件和用于被电子束轰击生成高能X射线的旋转靶设备,电子源组件生成的高能聚焦电子束轰击到旋转靶设备上生成高能微焦点X射线。本申请通过采用特定的电子源和直线加速器相配合,提供长宏脉冲高平均流强的电子束,再通过螺线管和强聚焦四极透镜组的聚焦,将长宏脉冲高平均流强的电子束横向尺寸在打靶位置聚焦到比较小的尺寸,并通过束斑测量组件对电子束横向尺寸进行精确测量控制,将束斑尺寸控制到0.1mm以下,实现高能微焦点X射线输出的目的。

权利要求

1.一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,包括用于生成高能电子束的电子源组件和用于被电子束轰击生成高能X射线的旋转靶设备,电子源组件生成的高能聚焦电子束轰击到旋转靶设备上生成高能微焦点X射线。

2.根据权利要求1所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述电子源组件包括用于生成电子束的电子源、用于对电子束进行聚焦的聚焦组件以及用于提升电子束能量的直线加速器,电子源生成的电子束经过直线加速器的加速以及聚焦组件的聚焦后,轰击到旋转靶上生成高能微焦点X射线。

3.根据权利要求2所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述聚焦组件包括设置于电子源和直线加速器之间的螺线管。

4.根据权利要求2所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述聚焦组件包括设置于直线加速器和旋转靶之间的强聚焦四极透镜组。

5.根据权利要求2所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述直线加速器包括超导直线加速器或常温微波直线加速器。

6.根据权利要求2所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述电子源包括光阴极微波电子枪或冷阴极微波电子枪或光阴极直流高压电子枪。

7.根据权利要求1所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述旋转靶设备包括用于分散电子束打靶能量的旋转靶和用于测量电子束束斑大小的束斑测量组件,所述旋转靶和束斑测量组件均能相对移动,使电子束在旋转靶和束斑测量组件的同一位置上形成束斑。

8.根据权利要求7所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述束斑测量组件包括用于形成束斑的束斑测量靶、用于测量束斑大小的测量组件以及用于限定束斑测量靶位置的垂直移动组件,所述束斑测量靶和所述测量组件固定于所述垂直移动组件下方。

9.根据权利要求8所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述测量组件包括反射镜和成像相机,所述反射镜与所述束斑测量靶呈45度夹角,所述成像相机与所述反射镜呈45度夹角,所述成像相机与所述束斑测量靶垂直。

10.根据权利要求7所述的一种高能微焦点X射线生产设备,其特征在于,所述旋转靶包括被电子束轰击生成X射线的靶盘、用于使靶盘前后移动的水平移动组件和用于使靶盘旋转的旋转组件,所述靶盘的靶心固定于旋转组件输出轴上,所述旋转组件固定于水平移动组件上。

一种高能微焦点X射线生产设备专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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