专利摘要

本发明公开了一种改善电铸金属膜基界面结合强度的超声电位活化方法，包括如下步骤：基底预处理，在基底上制作光刻胶微结构；将带有微电胶膜型腔的金属基底固定于阴极背板上，将阴极背板、阳极和电铸液放入电铸槽中，将电铸槽置于超声清洗机中进行水浴加热，施加超声振动，活化基底表面氧化层；停止施加超声振动，进行电铸得到电铸层；电铸完成后，将金属基底取出利用去离子水冲洗干净，再利用氮气吹干，去除金属基底上的微电铸胶膜型腔，得到电铸层。本发明通过超声电位活化基底氧化层改善电铸金属膜基界面结合强度，能够提高微金属器件制造的成品率并延长其使用寿命，拓展了微细电铸技术的应用范围，且具有简单、高效和经济的特点。

专利附图

一种改善电铸金属膜基界面结合强度的超声电位活化方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。