专利摘要

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，所述装置包含有吊装于旋转装置(3)上的同步罩(2)，所述旋转装置(3)与升降装置(4)相连接；所述升降装置(4)固定于同步罩基架(5)上，所述同步罩基架(5)滑动设置于水平移动装置(6)；所述同步罩(2)位于涂胶腔体(1)的上方，且涂胶腔体(1)的上端面上设置有密封垫(14)。本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，结构简单可靠，成本低。

权利要求

1.一种腔体同步罩旋转装置，其特征在于：所述装置包含有吊装于旋转装置(3)上的同步罩(2)，所述旋转装置(3)与升降装置(4)相连接。

2.如权利要求1所述一种腔体同步罩旋转装置，其特征在于：所述升降装置(4)固定于同步罩基架(5)上，所述同步罩基架(5)滑动设置于水平移动装置(6)。

3.如权利要求1所述一种腔体同步罩旋转装置，其特征在于：所述同步罩(2)位于涂胶腔体(1)的上方，且涂胶腔体(1)的上端面上设置有密封垫(14)。

4.如权利要求1所述一种腔体同步罩旋转装置，其特征在于：所述旋转装置(3)包含有固定连接于同步罩(2)上端面中部的旋转轴(12)，安装于轴承座(9)内的轴承(8)套装于旋转轴(12)上，轴承端盖(10)固定连接于轴承座(9)上，一浮动接头(11)的一端与轴承端盖(10)相连接，另一端与升降装置(4)相连接。

5.如权利要求4所述一种腔体同步罩旋转装置，其特征在于：所述旋转轴(12)顶端旋置有一锁紧螺母(13)，该锁紧螺母(13)压紧轴承(8)。

6.如权利要求4所述一种腔体同步罩旋转装置，其特征在于：所述轴承座(9)或升降装置(4)上安装有一同步罩定位气缸(7)，该同步罩定位气缸(7)的活塞杆竖向向下，所述同步罩(2)的上端面上设置有供同步罩定位气缸(7)的活塞杆插入的定位孔。

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种腔体同步罩旋转装置，尤其是涉及一种在超大尺寸方型基片涂胶工艺过程中、用于提高工艺性能的涂胶腔体装置。

背景技术

目前，在大型激光设备制造过程需要用涂胶设备对超大尺寸方型基片进行光刻胶的涂覆。光刻胶涂覆可采用喷涂、旋涂及刮涂等多种工艺，其中旋转涂胶工艺的膜厚均匀性最好。目前的半导体行业内常规的旋转涂胶设备无法完成大尺寸基片的光刻胶涂覆工艺，极少数定制的超大尺寸涂胶设备结构简单，只能实现基片的旋转，无法避免涂胶过程中的气流影响，从而无法保证方型基片的涂胶效果。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种结构简单可靠且制造成本低的腔体同步罩旋转装置。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种腔体同步罩旋转装置，所述装置包含有吊装于旋转装置上的同步罩，所述旋转装置与升降装置相连接。

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，所述升降装置固定于同步罩基架上，所述同步罩基架滑动设置于水平移动装置。

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，所述同步罩位于涂胶腔体的上方，且涂胶腔体的上端面上设置有密封垫。

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，所述旋转装置包含有固定连接于同步罩上端面中部的旋转轴，安装于轴承座内的轴承套装于旋转轴上，轴承端盖固定连接于轴承座上，一浮动接头的一端与轴承端盖相连接，另一端与升降装置相连接。

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，所述旋转轴顶端旋置有一锁紧螺母，该锁紧螺母压紧轴承。

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置，所述轴承座或升降装置上安装有一同步罩定位气缸，该同步罩定位气缸的活塞杆竖向向下，所述同步罩的上端面上设置有供同步罩定位气缸的活塞杆插入的定位孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单可靠，成本低。其中同步罩无需安装旋转电机，在摩擦力或定位锁作用下即可实现与涂胶腔体的同步旋转。同时在电控系统的控制下自动完成同步罩移动、下降等动作，无需人工操作，提升此类设备的自动化程度，并可保证超大尺寸方型基片涂胶工艺的膜厚均匀性。

附图说明

图1为本实用新型一种腔体同步罩旋转装置的轴侧视图。

图2为本实用新型一种腔体同步罩旋转装置的结构主视图。

图3为本实用新型一种腔体同步罩旋转装置的图1的左视图。

图4为本实用新型一种腔体同步罩旋转装置的图1的轴侧视图同步罩移开。

其中：

涂胶腔体1、同步罩2、旋转装置3、升降装置4、同步罩基架5、水平移动装置6、同步罩定位气缸7、轴承8、轴承座9、轴承端盖10、浮动接头11、旋转轴12、锁紧螺母13、密封垫14。

具体实施方式

参见图1～4，本实用新型涉及的一种腔体同步罩旋转装置，所述装置包含有吊装于旋转装置3上的同步罩2，所述旋转装置3与升降装置4相连接，且升降装置4固定于同步罩基架5上，所述同步罩基架5滑动设置于水平移动装置6上；

进一步的，所述同步罩2位于涂胶腔体1的上方，且涂胶腔体1的上端面上设置有密封垫14；

进一步的，所述旋转装置3包含有固定连接于同步罩2上端面中部的旋转轴12，安装于轴承座9内的轴承8套装于旋转轴12上，轴承端盖10固定连接于轴承座9上，一浮动接头11的一端与轴承端盖10相连接，另一端与升降装置4相连接；优选的，所述旋转轴12顶端旋置有一锁紧螺母13，该锁紧螺母13压紧轴承8；

进一步的，所述轴承座9或升降装置4上安装有一同步罩定位气缸7，该同步罩定位气缸7的活塞杆竖向向下，所述同步罩2的上端面上设置有供同步罩定位气缸7的活塞杆插入的定位孔；

本实用新型一种腔体同步罩旋转装置的使用方法为：

当进行涂胶工艺时，同步罩2与旋转装置3在水平移动装置6驱动下移动到涂胶腔体1上方，随后升降装置4下降，使同步罩2与涂胶腔体1上端面的密封垫14接触；随后同步罩定位气缸7解锁(即同步罩定位气缸7的活塞杆回缩脱出同步罩上的定位孔)；

当涂胶腔体1旋转时，同步罩2在密封垫14的摩擦力或定位销的作用下与涂胶腔体1一起旋转，同时涂胶腔体1、同步罩2与密封垫14形成密封腔体；

当涂胶工艺结束后，同步罩2上升，同步罩定位气缸7锁定，防止同步罩2旋转；水平移动装置6移动，将同步罩2、旋转装置3、升降装置4、同步罩基架5移开。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

一种腔体同步罩旋转装置专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。