专利摘要

本发明公开一种有效提高多层透明导电薄膜光电性能的制备方法，先采用磁控溅射仪将TCO沉积在清洗好的玻璃基底上获得TCO/玻璃薄膜，置于中温管式炉中，在一定气氛中于300~600℃温度下保持10~30分钟，再将金属层M沉积在已退火处理好的TCO/玻璃薄膜上获得M/TCO/玻璃透明导电薄膜，置于中温管式炉中，在一定气氛中于300~500℃温度下保持10~30分钟，最后将TCO沉积在已经退火处理好的M/TCO/玻璃薄膜上获得TCO/M/TCO透明导电薄膜，至于中温管式炉中，在一定气氛下于300~600℃温度下保持10~30分钟；本发明采用分步退火的方法来处理TCO/M/TCO薄膜，可以根据每层材料独特的性质来设定符合其性质的最优退火条件，获得具有最佳光电性能的多层透明导电薄膜。

专利附图

一种有效提高多层透明导电薄膜光电性能的制备方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。