IPC分类号 : H01L31/115,H01L31/0236,H01L31/0216,H01L31/18,H01Q15/00,H01Q15/10
专利摘要
本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的射频信号探测器，包括：自下而上依次放置的衬底、掺杂层和二氧化硅层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成肖特基接触的超表面光学天线层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成欧姆接触的欧姆电极，以及位于二氧化硅层的上表面的肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层为宽度为5～100mm的金属阵列，对于入射的射频S波段、C波段或X波段的电磁信号具有极强的局域表面等离激元效应，用于探测射频S波段、C波段或X波段的信号；金属阵列为平面结构或立体结构，由周期性排列的微米基元构成；微米基元为微米结构，体积小，能够在极短时间内产生极强的响应信号，可以以较小的体积实现响应速度较快的射频波段信号的探测。
权利要求
1.一种基于超表面光学天线的射频信号探测器，其特征在于，包括：自下而上依次放置的衬底、掺杂层和二氧化硅层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成肖特基接触的超表面光学天线层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成欧姆接触的欧姆电极，以及位于二氧化硅层的上表面的肖特基电极和普通电极；其中，所述超表面光学天线层分别与所述肖特基电极和所述普通电极相连，其内部缝隙由所述二氧化硅层填充；
所述超表面光学天线层为宽度为5～100mm的金属阵列，对于入射的射频S波段、C波段或X波段的电磁信号具有局域表面等离激元效应，用于探测射频S波段、C波段或X波段的信号；所述金属阵列为平面结构或立体结构，由周期性排列的微米基元构成；所述微米基元为微米结构。
2.根据权利要求1所述的射频信号探测器，其特征在于，所述微米基元间的间距为50～500微米。
3.根据权利要求1所述的射频信号探测器，其特征在于，所述微米基元与所述掺杂层平行时，所述金属阵列为平面结构，此时，所述微米基元为弧形结构，其弧度为10～120度，长度为10～500微米，宽度为50～500微米。
4.根据权利要求1所述的射频信号探测器，其特征在于，所述微米基元与所述掺杂层垂直时，所述金属阵列为立体结构，此时，所述微米基元为圆锥形结构或上底面为弧形的棱台结构。
5.根据权利要求4所述的射频信号探测器，其特征在于，所述微米基元为上底面为弧形的直立棱台结构时，其棱边的数目为3或者4，上底面的弧度为10～180度，下底面边长为10～100微米，斜高为1～100微米；
所述微米基元为圆锥形结构时，其底面直径为10～100微米，高度为1～100微米，锥角角度为10～60度。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的射频信号探测器，其特征在于，所述微米基元的材料为钛和金。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的射频信号探测器，其特征在于，所述欧姆电极的材料为镍、锗和金，厚度分别为25nm、250nm和25nm；所述肖特基电极的材料为钛和金，厚度分别为20nm和200nm；所述普通电极制作材料为钛和金，厚度分别为20nm和200nm。
一种基于超表面光学天线的射频信号探测器专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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