专利摘要

本发明公开一种力反馈闭环控制复合键合装置，微动装置由宏动装置带动横向平移与竖向平移；微动装置包括超磁致伸缩致动器，改变自身的长度带动贴装杆位移，超磁致伸缩致动器的伸缩幅度很小，用于驱动贴装杆小范围精准位移；应变片用于检测贴装杆与基板之间的接触力，通过应变片对微动装置提供反馈，根据检测信号控制超磁致伸缩致动器的伸缩量；芯片距离基板较远时由宏动装置快速移动，到达距离基板较近的位置时停止宏动装置，微动装置驱动芯片移动，芯片接触基板时产生接触力，通过接触力形成反馈，避免对芯片产生较大的压力，在贴装的不同阶段使用宏动装置或微动装置驱动，在保证贴片效率的基础上精准控制接触力，避免芯片被压坏。

专利附图

一种力反馈闭环控制复合键合装置专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。