专利摘要
本发明提供了一种电镀铜整平剂及其制备方法和应用,所述电镀铜整平剂由3‑(二甲基氨基)‑1‑丙硫醇、吡唑类化合物和二元环氧化合物共聚而成;所述吡唑类化合物具有式(I)所示结构;式(I)中,R1和R2独立地选自氢原子、甲基、乙基或苯基;所述二元环氧化合物具有式(II)所示结构;式(II)中,R为非环氧基的连接基团。本发明提供的电镀铜整平剂能够改善电镀液中各组分之间相互作用,使电镀液在具有优异的盲孔填孔性能的同时,能兼顾通孔的导通电镀,满足其均一性要求。实验结果表明,将本发明提供的电镀铜整平剂应用于电镀液,对直径为75‑120μm的盲孔可以获得5μm左右的超小凹陷值,以及16μm左右的超薄面铜厚度,同时还能够保证通孔的TP值≥85%。
专利附图
一种电镀铜整平剂及其制备方法和应用专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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