专利摘要

专利摘要

一种柔性光致超声薄膜换能器，自下至上依次为柔性透明基底(120)、光吸收层(130)和热弹性层(140)。柔性基底(120)为透明聚二甲基硅氧烷聚合物；光吸收层(130)为碳纳米管；热弹性层(140)为聚二甲基硅氧烷聚合物。制备柔性化光致超声薄膜换能器的方法为：在玻璃衬底上旋涂聚二甲基硅氧烷溶液，制备柔性透明基底；然后将沉积有碳纳米管滤饼的氧化铝无机过滤膜按压在第二步制备的透明聚合物薄膜上，剥离氧化铝无机过滤膜，在透明聚合物基底上得到转移有光吸收层的碳纳米管薄膜；在碳纳米管薄膜层上旋涂聚二甲基硅氧烷聚合物，固化后形成热弹性层。待热弹性层固化后去除玻璃衬底。

权利要求

1.一种制备柔性化光致超声薄膜换能器的方法，其特征在于：所述的制备柔性化光致超声薄膜换能器的方法包括如下步骤：

第一步，制备石英玻璃衬底：

清洗石英玻璃衬底表面，将石英玻璃首先进行等离子体处理，随后浸入含氟硅烷甲苯溶液进行玻璃表面处理，实现其疏水性功能；

所述等离子体处理时间为30～300s；

含氟硅烷为1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷、十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷、十三氟辛基三甲氧基硅烷、4-甲基-(全氟己基乙基)丙基三甲氧基硅烷中的一种；

所述含氟硅烷甲苯溶液的浓度为5vol％；

第二步，在经第一步制备的疏水性玻璃的上表面旋涂透明有机聚合物材料，并真空脱气30min，再置于100～130℃真空或惰性气体保护的条件下加热20～30min，完成固化，在疏水性的石英玻璃衬底上得到均匀厚度的透明聚合物薄膜，此薄膜即为柔性光致超声换能器的柔性基底；

所述的有机聚合物材料为聚二甲基硅氧烷溶液；

第三步，制备碳纳米管薄膜层：将碳纳米管溶液进行真空抽滤，在氧化铝无机过滤膜上得到碳纳米管滤饼，将沉积有碳纳米管滤饼的氧化铝无机过滤膜按压在第二步制备的透明聚合物薄膜上，剥离氧化铝无机过滤膜，在透明聚合物基底上得到转移有光吸收层的碳纳米管薄膜；

第四步，在碳纳米管薄膜层上旋涂聚二甲基硅氧烷聚合物，并真空脱气30min，再置于100℃～130℃真空或惰性气体保护的条件下加热20～30min完成固化，形成热弹性层；待热弹性层固化后去除玻璃基片；

所述第二步中的聚二甲基硅氧烷溶液的配制方法如下：

将聚二甲基硅氧烷与固化剂以10:1质量比混合得到混合溶液，并对其超声水浴法处理5min；对混合溶液真空脱气30min以除去混合溶液中的气泡。

2.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二步中的透明聚合物薄膜厚度为1mm。

3.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的第三步中，所述碳纳米管溶液为采用有机溶剂分散处理过的碳纳米管溶液，所述的碳纳米管溶液中碳纳米管外径小500nm。

4.按照权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述的第三步中所述的碳纳米管溶液中碳纳米管外径小100nm。

5.按照权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述的有机溶剂为甲苯或二甲苯或氯仿或邻二甲苯。

6.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的第二步中的惰性气体为氮气或氩气或氦气。

7.按照权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用所述的制备方法制备的超声薄膜换能器包括柔性基底(120)、光吸收层(130)和热弹性层(140)；柔性基底(120)、光吸收层(130)、热弹性层(140)自下至上依次布置；

所述柔性基底(120)为透明聚二甲基硅氧烷聚合物；

所述光吸收层(130)为碳纳米管；

所述热弹性层(140)为聚二甲基硅氧烷聚合物。

说明书

技术领域

本发明属于超声换能器领域，特别涉及一种利用光声效应的柔性光致超声换能器及其制备方法。

背景技术

超声换能器及其阵列广泛应用于工业无损检测、医学诊断与治疗、水下通信与定位、材料检测与分析等领域，在社会生活和工业生产中发挥了重要作用。作为超声探测和成像技术的关键部件，高性能的超声换能器件一直是国内外研究的热点。相较于传统的电驱动方式的超声换能器件，基于光声效应的光致超声薄膜换能器因其诸多特性而引起了越来越多的关注。光致超声薄膜换能器是利用脉冲激光照射光致超声复合材料而产生超声信号，属于光驱动器件。与传统超声换能器相比，光致超声薄膜换能器是一种非电子结构的换能器件，能够与电磁设备兼容，可替代压电超声换能器应用于复杂电磁环境中，如与MRI成像设备集成。同时，由于采用超快脉冲激光作为激励源，光致超声薄膜换能器很容易产生高频超声波且超声频带也较压电换能器更宽，在超声成像应用中，更容易得到高分辨率图像。

目前的光致超声薄膜换能器的基体一般为石英玻璃材料，光声转化材料主要有炭黑、石墨烯、碳纳米管和碳纳米纤维等，其制作工艺大多先通过在基体上生长光热转化材料，再将热弹性材料集成到光热材料外表面，形成三明治结构的光致超声薄膜换能器。如Buma T,Spisar M,O'Donnell M.A high-frequency,2-D array element usingthermoelastic expansion in PDMS[J].IEEE Transactions on UltrasonicsFerroelectrics&Frequency Control,2003,50(9):1161-1176.DOI:10.1109/TUFFC.2003.1235327；Won Baac H,Ok JG,Park HJ,et al.Carbon nanotube compositeoptoacoustic transmitters for strong and high frequency ultrasound generation[J].Applied Physics Letters,2010,97(23):617.DOI:10.1063/1.3522833，美国专利9459138 B2，中国专利CN 107474267 A等。但采用透明石英玻璃材料作为基底，无法制作柔性超声阵列，且与探测对象表面无法紧密接触，尤其对表面不规则的探测目标耦合效率将大大降低。

发明内容

为了克服现有光致超声薄膜换能器由于采用石英玻璃作为基底，导致耦合不好造成超声波损耗的不足，本发明提出一种柔性光致超声薄膜换能器及其制备方法。本发明制备工艺简单，成本低。

本发明采用以下技术方案。

本发明柔性光致超声薄膜换能器包括柔性基底、光吸收层和热弹性层。柔性基底、光吸收层、热弹性层自下至上依次布置。

所述柔性基底为透明聚二甲基硅氧烷聚合物。

所述光吸收层为碳纳米管。碳纳米管具有较高的光吸收系数，且热传递能力高，使得柔性光致超声薄膜换能器的光声转换效率高。

所述热弹性层为聚二甲基硅氧烷聚合物。聚二甲基硅氧烷具有较高的热膨胀系数，有助于光致超声换能器产生较大的机械应变，从而提高光致超声薄膜换能器的光声转换效率。

本发明柔性光致超声薄膜换能器工作时，通过脉冲激光照射光致超声薄膜换能器，超声薄膜换能器光吸收层的碳纳米管将脉冲的光能转化为脉冲的热能，并向热弹性层聚二甲基硅氧烷聚合物快速传递热能，聚二甲基硅氧烷聚合物吸收脉冲热能后发生瞬时膨胀。无光照时，热弹性层聚二甲基硅氧烷聚合物接收不到热能，发生瞬时收缩，从而使光致超声薄膜换能器产生周期性的形变作用产生脉冲超声波，且光声转换效率高。

所述的柔性光致超声薄膜换能器的制备方法包括以下步骤：

第一步，制备石英玻璃基片：

清洗石英玻璃表面，将石英玻璃首先进行等离子体处理以除去玻璃表面的有机污染物，同时加强玻璃表面的浸润性，随后浸入含氟硅烷甲苯溶液进行玻璃表面处理，实现其疏水性功能。

其中，等离子体处理时间为300s。

优选的，含氟硅烷为1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷、十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷、十三氟辛基三甲氧基硅烷、4-甲基-(全氟己基乙基)丙基三甲氧基硅烷中的一种；

其中，含氟硅烷甲苯溶液的浓度为5vol％。

第二步，在经第一步制备的疏水性玻璃的上表面旋涂透明有机聚合物材料，并真空脱气30min，再置于100～130℃真空条件下加热20～30min，完成固化，在疏水性的石英玻璃衬底上得到均匀厚度的透明聚合物薄膜，此薄膜即为柔性光致超声换能器的柔性基底。

所述的有机聚合物材料为聚二甲基硅氧烷溶液。

所述惰性气体为氮气、氩气或氦气。

配制聚二甲基硅氧烷溶液包括如下步骤：

将聚二甲基硅氧烷与固化剂以10:1质量比混合得到混合溶液，并对其超声水浴法处理5min；对混合溶液真空脱气30min以除去混合溶液中的气泡。

所述的透明聚合物薄膜厚度为1mm。

第三步，制备碳纳米管薄膜层：将碳纳米管溶液真空抽滤，在氧化铝无机过滤膜上得到碳纳米管滤饼，将沉积有碳纳米管滤饼的过滤膜按压在第二步制备的透明聚合物薄膜上，剥离氧化铝无机过滤膜，在透明聚合物基底上得到转移有光吸收层的碳纳米管薄膜。

优选的，所述碳纳米管溶液为采用有机溶剂分散处理过的碳纳米管溶液。

所述有机溶剂可以为甲苯、二甲苯、氯仿或邻二甲苯。

优选的，所述氧化铝无机过滤膜为多孔氧化铝过滤膜。

所述的碳纳米管溶液中碳纳米管外径小于500nm。

优选的，所述碳纳米管溶液中的碳纳米管外径小于100nm。

第四步，在碳纳米管薄膜层上旋涂上聚二甲基硅氧烷聚合物，并真空脱气30min，再置于100℃～130℃真空条件下加热30min完成固化，形成热弹性层。

待热弹性层固化后去除玻璃基片。

至此，本发明柔性光致超声薄膜换能器制备完毕。

与现有技术相比，本发明具有以下优点和有益效果：

(1)本发明柔性光致超声薄膜换能器采用柔性基底，克服了玻璃基底的光致超声换能器的缺点和不足，有效减小了因耦合不好而造成的超声波损耗。另一方面，采用碳纳米管作为光吸收层，提高了光声转换效率，增加了超声探测深度；同时能够更快的将热能传递到周围的有机聚合物中，提高了频带宽度，拓宽了超声成像的分辨率。

(2)采用真空抽滤法制备碳纳米管薄膜时，由于通过滤膜时流体速度的变化，碳纳米管溶液通过氧化铝无机过滤膜后会形成浓度梯度。随着溶液的滤除，碳纳米管浓度的增加，从而得到具有内部取向性的自组装碳纳米管层。相比于随机取向的碳纳米管层，这种定向排列的自组装碳纳米管层能够极大节省材料用量，便于商业化生产。

(3)本发明柔性光致超声薄膜换能器具有柔性功能，适用于任何形状的探测物体，包括不规则的金属结构件、动物的表皮组织等，有效地拓展了光致超声换能器的应用范围。

(4)本发明柔性光致超声薄膜换能器提高了超声频带宽度，具有高分辨率成像的潜力。

(5)本发明柔性光致超声薄膜换能器具有电磁兼容特性，极易与磁共振成像(MRI)等电磁成像设备兼容，实现多模态成像功能。

(6)本发明柔性光致超声薄膜换能器制备工艺简单，易实现，成本低。

附图说明

图1本发明柔性光致超声薄膜换能器基本结构侧视图；

图2本发明制备柔性光致超声薄膜换能器实施例1的流程图；

图3本发明实施例制备的柔性化光致超声薄膜换能器在脉冲激光作用下测试的声压结果图；

图4本发明实施例制备的柔性化光致超声薄膜换能器在脉冲激光作用下所得声压的频谱。

具体实施方式

如图1所示，本发明柔性光致超声薄膜换能器包括柔性基底、光吸收层和热弹性层，自上至下依次为柔性基底120、光吸收层130和热弹性层140。脉冲激光110照射到此柔性薄膜换能器后产生超声波150。

所述柔性基底120为透明聚二甲基硅氧烷聚合物。

所述光吸收层130为碳纳米管。

所述热弹性层140为聚二甲基硅氧烷聚合物。

实施例1

如图2所示，本发明制备柔性化光致超声薄膜换能器实施例1的步骤如下。

1、步骤S210，提供经过清洗的玻璃基片。

玻璃基片经过真空等离子体处理，以除去玻璃表面的有机杂质并增加表面浸润性。该步骤提供的基片可以但不限于玻璃。

其中，真空等离子体处理时间为300s。

2、步骤S220，采用含氟硅烷溶液对基片进行疏水性处理。

将经步骤S210清洗后的基片浸泡到含氟硅烷溶液中，经过一段时间后取出基片，然后冲洗、烘干处理。也可以基于含氟硅烷溶液并采用旋涂法、溶液喷涂法、溶液蒸发法等方法来形成具有疏水性表面的基片。

本实施例中含氟硅烷溶液是1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷与甲苯的混合液，其中含氟硅烷浓度为5vol％。

3、步骤S230，对已疏水性处理的基片进行旋转涂胶，并进行前烘处理。

本步骤涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂按照10:1的质量比混合，并经过30min脱气处理后的混合液。涂布后将基片在100℃下30min烘干固化，在基片上得到均匀厚度的透明的聚合物薄膜，形成光致超声薄膜换能器的柔性基底。

其中，所述柔性基底的厚度为1mm。

4、步骤S240，通过低压或真空抽滤技术，对经表面活性剂处理的碳纳米管溶液进行过滤，在氧化铝无机过滤膜上得到碳纳米管滤饼。在步骤S230制得的柔性基底上按压氧化铝无机过滤膜5min，并剥离氧化铝无机过滤膜，便将碳纳米管滤饼转移到柔性基底上，形成光致超声薄膜换能器的光吸收层。

在本步骤中需要采用有机溶剂进行分散处理以得到相对均匀稳定的碳纳米管溶液，使用的有机溶剂可以但不限于为甲苯、二甲苯、氯仿或邻二甲苯。需要理解的是，碳纳米管分散形成溶液本身是个比较复杂的过程，通常需要使用表面活性剂，如十二烷基苯磺酸钠及其他化学物质，使得粉末状的碳纳米管相对容易溶解到溶剂中，从而形成稳定的碳纳米管溶液。

需要说明的是，以上步骤得到的碳纳米管滤饼的厚度可以根据实际情况通过控制抽滤的时间实现。

本实施例制得的碳纳米管薄膜的厚度为5μm。

5、步骤S250，在已转移到透明柔性基底上的碳纳米管薄膜上表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷溶液，并进行真空干燥处理，得到光致超声薄膜换能器的热弹性层。

具体地，涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂10:1混合后并经过30min脱气处理后的混合液。真空固化时间为100℃下30min。

所述热弹性层的厚度为10μm。

6、步骤S260，去除具有疏水性的玻璃基片。

至此，柔性化的光致超声薄膜换能器的制备完成。

实施例2

1、步骤S210，提供经过清洗的玻璃基片。

提供的基片经过真空等离子体处理，以除去玻璃表面的有机杂质并增加表面浸润性。该步骤提供的基片可以但不限于玻璃。

其中，真空等离子体处理时间为300s。

2、步骤S220，采用含氟硅烷溶液对基片进行疏水性处理。

将经步骤S210清洗后的基片浸泡到含氟硅烷溶液中，经过一段时间后取出基片，然后冲洗、烘干处理。也可以基于含氟硅烷溶液并采用旋涂法、溶液喷涂法、溶液蒸发法等方法来形成具有疏水性表面的基片。

本实施例中含氟硅烷溶液是十三氟辛基三甲氧基硅烷与甲苯的混合液，其中含氟硅烷浓度为10vol％。

3、步骤S230，对已疏水性处理的基片进行旋转涂胶，并进行前烘处理。

本步骤涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂按照10:1的质量比混合，并经过30min脱气处理后的混合液。涂布后将基片在100℃下30min烘干固化，在基片上得到均匀厚度的透明的聚合物薄膜，形成光致超声薄膜换能器的柔性基底。

所述柔性基底的厚度为1mm。

4、步骤S240，本步骤提供一种简化的光吸收层制备方法。通过涂布法，将表面活性剂处理后的碳纳米管溶液涂布在步骤S230所得到的柔性基底上，并进行前烘处理，形成光致超声薄膜换能器的光吸收层。

在本实施例中，采用有机溶剂进行分散处理以得到相对均匀稳定的碳纳米管溶液，使用的有机溶剂可以但不限于为甲苯、二甲苯、氯仿或邻二甲苯。需要理解的是，碳纳米管分散形成溶液本身是个比较复杂的过程，通常需要使用表面活性剂，如十二烷基苯磺酸钠及其他化学物质，使得粉末状的碳纳米管相对容易溶解到溶剂中，从而形成稳定的碳纳米管溶液。

在本实施例中，所述碳纳米管薄膜的厚度为10μm。

5、步骤S250，在碳纳米管薄膜上表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷溶液，并进行真空干燥处理，得到光致超声薄膜换能器的热弹性层。

具体地，涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂10:1混合后并经过30min脱气处理后的混合液。脱气固化过程为真空下在100℃下30min。

所述热弹性层的厚度为10μm。

6、步骤S260，去除具有疏水性的玻璃基片。

至此，柔性化的光致超声薄膜换能器的制备完成。

实施例3

本实施例采用的含氟硅烷溶液是十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷与甲苯的混合液，其中含氟硅烷浓度为10vol％。

具体地，步骤如下：

1、步骤S210，提供经过清洗的玻璃基片。

提供的基片经过真空等离子体处理，以除去玻璃表面的有机杂质并增加表面浸润性。该步骤提供的基片可以但不限于玻璃。

其中，真空等离子体处理时间为300s。

2、步骤S220，采用含氟硅烷溶液对基片进行疏水性处理。

将经步骤S210清洗后的基片浸泡到含氟硅烷溶液中，经过一段时间后取出基片，然后冲洗、烘干处理。也可以基于含氟硅烷溶液并采用旋涂法、溶液喷涂法、溶液蒸发法等方法来形成具有疏水性表面的基片。

本实施例中含氟硅烷溶液是十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷与甲苯的混合液，其中含氟硅烷浓度为10vol％。

3、步骤S230，对已疏水性处理的基片进行旋转涂胶，并进行前烘处理。

本步骤涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂按照10:1的质量比混合，并经过30min脱气处理后的混合液。涂布后将基片在100℃下30min烘干固化，在基片上得到均匀厚度的透明的聚合物薄膜，形成光致超声薄膜换能器的柔性基底。

所述柔性基底的厚度为1mm。

4、步骤S240，通过低压或真空抽滤技术，对经表面活性剂处理的碳纳米管溶液进行过滤，在氧化铝无机过滤膜上得到碳纳米管滤饼。在步骤S230制得的柔性基底上按压氧化铝过滤膜5min，并剥离氧化铝过滤膜，便将碳纳米管滤饼转移到柔性基底上，形成光致超声薄膜换能器的光吸收层。

在本实施例中，采用有机溶剂进行分散处理以得到相对均匀稳定的碳纳米管溶液，使用的有机溶剂可以但不限于为甲苯、二甲苯、氯仿或邻二甲苯。需要理解的是，碳纳米管分散形成溶液本身是个比较复杂的过程，通常需要使用表面活性剂，如十二烷基苯磺酸钠及其他化学物质，使得粉末状的碳纳米管相对容易溶解到溶剂中，从而形成稳定的碳纳米管溶液。

需要说明的是，以上步骤得到的碳纳米管薄膜滤饼的厚度可以根据实际情况通过控制抽滤的时间实现。

在本实施例中，所述碳纳米管薄膜的厚度为5μm。

5、步骤S250，在已转移到透明柔性基底上的碳纳米管薄膜上表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷溶液，并进行真空干燥处理，得到光致超声薄膜换能器的热弹性层。

具体地，涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂10:1混合后并经过30min脱气处理后的混合液。脱气固化过程为真空下100℃下30min。

所述热弹性层的厚度为10μm。

6、步骤S260，去除具有疏水性的玻璃基片。

至此，柔性化的光致超声薄膜换能器的制备完成。

实施例4

本实施例采用的含氟硅烷溶液是4-甲基-(全氟己基乙基)丙基三甲氧基硅烷与甲苯的混合液，其中含氟硅烷浓度为10vol％。

具体地，步骤如下：

1、步骤S210，提供经过清洗的玻璃基片。

提供的基片经过真空等离子体处理，以除去玻璃表面的有机杂质并增加表面浸润性。该步骤提供的基片可以但不限于玻璃。

其中，真空等离子体处理时间为300s。

2、步骤S220，采用含氟硅烷溶液对基片进行疏水性处理。

将经步骤S210清洗后的基片浸泡到含氟硅烷溶液中，经过一段时间后取出基片，然后冲洗、烘干处理。也可以基于含氟硅烷溶液并采用旋涂法、溶液喷涂法、溶液蒸发法等方法来形成具有疏水性表面的基片。

本实施例中含氟硅烷溶液是4-甲基-(全氟己基乙基)丙基三甲氧基硅烷与甲苯的混合液，其中含氟硅烷浓度为10vol％。

3、步骤S230，对已疏水性处理的基片进行旋转涂胶，并进行前烘处理。

本步骤涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂按照10:1的质量比混合，并经过30min脱气处理后的混合液。涂布后将基片在100℃下30min烘干固化，在基片上得到均匀厚度的透明的聚合物薄膜，形成光致超声薄膜换能器的柔性基底。

所述柔性基底的厚度为1mm。

4、步骤S240，通过低压或真空抽滤技术，对经表面活性剂处理的碳纳米管溶液进行过滤，在氧化铝无机过滤膜上得到碳纳米管滤饼。在步骤S230制得的柔性基底上按压氧化铝过滤膜5min，并剥离氧化铝过滤膜，便将碳纳米管滤饼转移到柔性基底上，形成光致超声薄膜换能器的光吸收层。

在本实施例中，采用有机溶剂进行分散处理以得到相对均匀稳定的碳纳米管溶液，使用的有机溶剂可以但不限于为甲苯、二甲苯、氯仿或邻二甲苯。需要理解的是，碳纳米管分散形成溶液本身是个比较复杂的过程，通常需要使用表面活性剂，如十二烷基苯磺酸钠及其他化学物质，使得粉末状的碳纳米管相对容易溶解到溶剂中，从而形成稳定的碳纳米管溶液。

需要说明的是，以上步骤得到的碳纳米管薄膜滤饼的厚度可以根据实际情况通过控制抽滤的时间实现。

所述碳纳米管薄膜的厚度为5μm。

5、步骤S250，在已转移到透明柔性基底上的碳纳米管薄膜上表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷溶液，并进行真空干燥处理，得到光致超声薄膜换能器的热弹性层。

具体地，涂布的溶液为聚二甲基硅氧烷与其固化剂10:1混合后并经过30min脱气处理后的混合液。脱气固化过程为真空下100℃下30min。

所述热弹性层的厚度为10μm。

6、步骤S260，去除具有疏水性的玻璃基片。

至此，柔性化的光致超声薄膜换能器的制备完成。

采用本发明提供的柔性化光致超声薄膜换能器的制备方法制备柔性光致超声换能器，在图1所示的情况下，脉冲激光110首先穿过透明柔性基底120，并到达碳纳米管薄膜层130，碳纳米管薄膜将光能转化为脉冲热能并向热弹性层聚二甲基硅氧烷(PDMS)140传递热能，聚二甲基硅氧烷吸收脉冲热能后发生瞬时膨胀，当无光照时，即聚二甲基硅氧烷接收不到热能，又发生瞬时收缩，从而使光致超声薄膜换能器产生周期性的形变作用产生脉冲超声波150。

具体地，在Nd：YAG激光器产生的脉冲激光110以10mJ/pulse的能量入射到实施例1制备的柔性光致超声薄膜换能器上后，在薄膜换能器后方6mm处放置的10MHz压电换能器测到的声压150如图3所示，超声脉冲宽度小于0.1μs，其超声频谱如图4所示，频带宽度超过60MHz。

柔性光致超声薄膜换能器及其制备方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。