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一种外加磁场辅助激光制备透明导电薄膜的方法

一种外加磁场辅助激光制备透明导电薄膜的方法

IPC分类号 : C23C14/58; C23C14/35

申请号
CN201410378095.0
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2014/8/1
  • 公开号: CN104152861A
  • 公开日: 2014/11/19
  • 主分类号: C23C14/58
  • 专利权人: 江苏大学

专利摘要

本发明提供了一种外加磁场辅助激光制备透明导电薄膜的方法,首先以TCO玻璃为基板,采用高真空直流磁控溅射仪溅射金属M层,获得M/TCO透明导电薄膜;然后,将M/TCO透明导电薄膜放置在磁场中,利用超短脉冲激光器,对M/TCO透明导电薄膜表面进行激光辐照处理。本发明激光辐照的热效应对M/TCO透明导电薄膜表面产生了退火作用,使得所述薄膜中晶粒尺寸增大,进而提高薄膜的光电性能。在激光辐照处理过程中引入磁场,磁场对金属M层的吸引作用,使得所述薄膜表面的晶体在重结晶的同时变得更加致密、均匀,可以有效的提高透明导电薄膜的透光率和导电性。

专利附图

一种外加磁场辅助激光制备透明导电薄膜的方法

一种外加磁场辅助激光制备透明导电薄膜的方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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