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一种光斑可视化精密狭缝装置

一种光斑可视化精密狭缝装置

IPC分类号 : G01N23/00

申请号
CN202022584668.9
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2020-11-10
  • 公开号: 213658613U
  • 公开日: 2021-07-09
  • 主分类号: G01N23/00
  • 专利权人: 中国科学院上海高等研究院

专利摘要

本实用新型涉及一种光斑可视化精密狭缝装置,包括真空腔体,设有法兰视窗和法兰接口;狭缝装置,设于所述真空腔体的内部;观测装置,用于观测狭缝装置,设于所述真空腔体的外部,并与所述法兰视窗相连;精密运动装置,与所述法兰接口相连,并具有延伸进所述真空腔体内部的连接杆,所述连接杆与所述狭缝装置相连;角度调节装置,设于所述真空腔体的外部,并通过一连接件与所述真空腔体连接。本实用新型能够在保证狭缝精密运动的同时,提供光斑位置的可视化观测,实现光斑调节的快速可视化及便捷性,同时在光束线运行时也能方便实时监测光斑。

权利要求

1.一种光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,包括:

真空腔体,设有法兰视窗和法兰接口;

狭缝装置,设于所述真空腔体的内部;

观测装置,用于观测狭缝装置,设于所述真空腔体的外部,并与所述法兰视窗相连;

精密运动装置,与所述法兰接口相连,并具有延伸进所述真空腔体内部的连接杆,所述连接杆与所述狭缝装置相连;

角度调节装置,设于所述真空腔体的外部,并通过一连接件与所述真空腔体连接。

2.根据权利要求1所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述狭缝装置包括两个在垂直方向上相对设置的第一狭缝刀片和第二狭缝刀片,以及两个在水平方向上相对设置的第三狭缝刀片和第四狭缝刀片,所述第一、第二、第三和第四狭缝刀片分别与四个连接杆相连。

3.根据权利要求2所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述狭缝刀片与所述连接杆之间设有绝缘面。

4.根据权利要求2所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述第一狭缝刀片位于所述狭缝装置中X射线光路的最前端。

5.根据权利要求4所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述第一狭缝刀片上通过绝缘紧固件安装有一荧光晶体。

6.根据权利要求5所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述荧光晶体与所述第一狭缝刀片的刀口边缘相隔的距离小于2mm。

7.根据权利要求5所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述荧光晶体为YAG晶体。

8.根据权利要求5所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述观测装置包括摄像头以及摄像头焦距位置调节装置,所述摄像头通过所述法兰视窗正对所述荧光晶体。

9.根据权利要求8所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述荧光晶体所产生的X射线荧光位置在所述摄像头的焦距及焦平面范围内。

10.根据权利要求1所述的光斑可视化精密狭缝装置,其特征在于,所述真空腔体的静态真空度优于5×10-10Torr。

一种光斑可视化精密狭缝装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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