专利摘要
一种磁场探针台测试系统，其包括：用于减震、承载和固定其余部件的基座，用于放置样品的样品承载模块，用于在不同测试磁场环境下测试样品不同特性的探针模块，电磁铁模块，以及用于观测探针模块和样品并进行操作，采集图像数据的显微测量装置，所述电磁铁模块包括：磁铁桥架、励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元，磁铁桥架安装在基座上，用于固定电磁铁单元；多个可拆卸的电磁铁单元中的任意一个电磁铁单元可拆卸地安装在磁铁桥架上，用于在励磁电源的激励下产生磁场。所述磁场探针台测试系统使用可拆卸、可调节的电磁铁单元，可以灵活地生成一维或二维磁场，并能够对不同尺寸的样品进行兼容，达到晶圆级样品测试探针台要求，最高可达24英寸。
权利要求
1.一种磁场探针台测试系统，其包括：基座(1)，用于放置样品的样品承载模块，用于在不同测试磁场环境下测试样品不同特性的探针模块，电磁铁模块，以及用于观测探针模块和样品并进行操作，采集图像数据的显微测量装置(10)，其特征在于：
所述电磁铁模块包括：磁铁桥架(2)、励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元(3)，磁铁桥架(2)安装在基座(1)上，用于固定电磁铁单元(3)；多个可拆卸的电磁铁单元(3)中的任意一个电磁铁单元(3)可拆卸地安装在磁铁桥架(2)上，用于在励磁电源的激励下产生磁场；
所述样品承载模块包括：用于放置样品的样品台(6)和用于移动样品台(6)的位移台(7)，其中样品台(6)的样品盘面积最大可简兼容24英寸样品进行测试。
2.根据权利要求1所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
多个可拆卸的电磁铁单元(3)包括第一电磁铁单元，第一电磁铁单元包括：垂直磁极、第一水平磁极和第二水平磁极，第一水平磁极与第二水平磁极相对，构成水平磁极对，每个磁极上均绕制有线圈；绕制在垂直磁极和水平磁极上的线圈通设定方向电流后，可产生沿垂直方向的磁场，用于样品在垂直磁场中的测试；绕制在水平磁极对上的线圈通设定方向电流后可产生沿水平磁极对方向的磁场用于样品在面内磁场中的测试；垂直磁极与水平磁极对单独使用或同时使用；和/或
多个可拆卸的电磁铁单元(3)包括第二电磁铁单元，第二电磁铁单元包括：第三水平磁极和第四水平磁极，第三水平磁极与第四水平磁极相对，构成水平磁极对，每个磁极上均绕制有线圈，绕制在水平磁极对上的线圈通电后可产生沿水平磁极对方向的磁场。
3.根据权利要求2所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
多个可拆卸的电磁铁单元(3)包括第三电磁铁单元，第三电磁铁单元包括：垂直磁极，垂直磁极上绕制有线圈，绕制在垂直磁极上的线圈通电后，可产生沿垂直方向的磁场。
4.根据权利要求3所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
第三电磁铁单元还包括增强磁极，增强磁极上绕制有线圈，增强磁极轭铁为单极或两个相对。
5.根据权利要求2或3中任一项所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
在其中一个或者多个磁极的尖端附近设置磁传感器，用单个磁传感器的信号或者多个磁传感器信号的组合，反馈到计算机或者单片机装置，读取磁场。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
所述电磁铁模块还包括：磁铁固定桌，磁铁固定桌上方连接电磁铁单元(3)的磁极，下端固定于基座(1)之上，用于克服在进行晶圆级样品测试时产生形变。
7.根据权利要求2所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
所述样品承载模块包括：样品台(6)和位移台(7)；样品台(6)用于放置测试的样品；样品台(6)位于电磁铁单元(3)中的垂直磁极和水平磁极之间。
8.根据权利要求6所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
位移台(7)上方连接至样品台(6)，下方固定在基座(1)上，用于移动样品台(6)，调整样品测试位置，样品固定在样品台(6)上，感受磁场；位移台(7)设置在磁铁桥架(2)下方，通过手动调节或电动调节位移台(7)，驱动样品台(6)在测试时产生XY两轴的位移和/或绕Z轴的旋转。
9.根据权利要求1-3中任一项所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
所述探针模块包括：探针平台(5)，多组匹配测试系统的探针座(8)和探针(9)；探针平台(5)设置在电磁铁单元(3)上方，并在探针(9)中心留有开口，探针平台(5)用于承载和固定探针座(8)；探针(9)固定在探针座(8)上，探针座(8)和探针(9)沿探针平台(5)的中间开口均匀环绕分布，探针(9)用于接触样品台(6)上的样品进行测试；和/或
所述探针平台(5)通过多根探针台支撑柱(4)固定在基座上，探针台支撑柱(4)可手动或自动调节高度。
10.根据权利要求1-3中任一项所述的磁场探针台测试系统，其特征在于：
显微测量装置(10)为一种光学显微镜，包括光源、相机模块、显微成像模块等，或者，其可替换为基于磁光克尔效应进行磁场测试的显微镜系统，所述基于磁光克尔效应进行磁场测试的显微镜设备包括：光源、偏振器和光电信号转换器。
一种磁场探针台测试系统专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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