专利摘要

本实用新型公开了一种基片清洗篮，包括篮体，所述篮体包括镂空清洗槽和位于所述篮体的底面且与所述镂空清洗槽相交的横梁，所述横梁向下凸出形成所述篮体的基座。包括一个或一个以上所述篮体，所述篮体的侧面设置有连接部件，所有所述篮体的底面位于同一平面，所述篮体与所述篮体之间通过所述连接部件牢固连接。所述镂空清洗槽呈若干“S”形或反“S”形依次首尾连接的形状、或是呈同心圆或同心口字的形状、或是呈螺旋线渐开或回字渐开的形状。所述镂空清洗槽的侧壁相对篮体底面倾斜设置。本基片清洗篮清洗效果突出、能减少对基片污染、有益清洗后基片干燥、可进行批量清洗、可清洗各长度规格的刚性或柔性基片及对某一侧面有清洁度要求的基片。

权利要求

1.一种基片清洗篮，包括篮体（1），其特征在于：所述篮体（1）包括镂空清洗槽（4）和位于所述篮体（1）的底面且与所述镂空清洗槽（4）相交的横梁（3），所述横梁（3）向下凸出形成所述篮体（1）的基座。

2.根据权利要求1所述的基片清洗篮，其特征在于：还包括提杆（2），所述提杆（2）设置在所述篮体（1）的中部。

3.根据权利要求1所述的基片清洗篮，其特征在于：包括一个或一个以上所述篮体（1），所述篮体（1）的侧面设置有连接部件，所有所述篮体（1）的底面位于同一平面，所述篮体（1）与所述篮体（1）之间通过所述连接部件牢固连接。

4.根据权利要求3所述的基片清洗篮，其特征在于：所述连接部件为，设置在所述侧面的凸出的凸块（6）和可与所述凸块（6）牢固插接配合的凹槽（7）。

5.根据权利要求3所述的基片清洗篮，其特征在于：所述连接部件为，设置在所述侧面且平行于所述侧面的插片（8）和可与所述插片（8）牢固插接配合的插槽（9）。

6.根据权利要求1所述的基片清洗篮，其特征在于：所述篮体（1）呈方形或者圆形。

7.根据权利要求1所述的基片清洗篮，其特征在于：所述镂空清洗槽（4）的侧壁（5）相对篮体（1）的底面倾斜设置。

8.根据权利要求1至7所述的任一基片清洗篮，其特征在于：所述镂空清洗槽（4）呈若干“S”形或者反“S”形依次首尾连接的形状。

9.根据权利要求1至7所述的任一基片清洗篮，其特征在于：所述镂空清洗槽（4）呈同心圆或者同心口字的形状。

10.根据权利要求1至7所述的任一基片清洗篮，其特征在于：所述镂空清洗槽（4）呈螺旋线渐开或者回字渐开的形状。

说明书

技术领域

本实用新型涉及光电技术领域，尤其涉及一种基片清洗篮。

背景技术

公告号CN201913087U的实用新型公开了一种聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，包括把手和一个以上花篮本体，其特征在于：所述把手上设置一个以上卡槽，所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。该实用新型最下面的花篮本体的底面与外界支撑体直接贴合，一则使得清洗作业时基片下方液体流动空间小，影响清洗效果；再则与外界支撑体直接贴合也容易污染花篮本体底面和清洗后的基片；最后花篮本体的底面与外界支撑体直接贴合或悬空，都缺乏良好的残余清洗液流走通道，均不利于干燥基片时残余清洗液的流走。而且，由于把手设置在花篮侧部，整个清洗花篮的平稳性降低，在采用多于一个篮体清洗基片时，容易侧翻。同时，受限于花篮本体的大小，其公开的矩形或正方形浅槽也不适于清洗长尺寸的柔性基片。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种基片清洗篮以实现改善清洗效果、减少对篮体和基片的污染、有益清洗后基片干燥、结构平稳、适于进行批量清洗并可清洗各种长度规格的刚性或柔性基片的基片清洗篮，同时提供一种可着重清洗基片某一侧面的基片清洗篮。

为了解决上述技术问题，本实用新型一种基片清洗篮，包括篮体1，其特征在于：所述篮体1包括镂空清洗槽4和位于所述篮体1的底面且与所述镂空清洗槽4相交的横梁3，所述横梁3向下凸出形成所述篮体1的基座。

进一步，该基片清洗篮还包括提杆2，所述提杆2设置在所述篮体1的中部。

进一步，所述镂空清洗槽4与两个以上所述横梁3相交。

进一步，该基片清洗篮包括一个或一个以上所述篮体1，在所述篮体1的侧面设置有连接部件；当该基片清洗篮包括两个或两个以上所述篮体1时，所有所述篮体1的底面位于同一平面，所述篮体1与所述篮体1之间通过所述连接部件牢固连接。

再进一步，所述连接部件的连接方式可以为插接或者卡接。

再再进一步，所述连接部件为，设置在所述篮体1的侧面的凸出的凸块6和可与所述凸块6牢固插接配合的凹槽7，所述篮体1之间通过其侧面的所述凸块6和所述凹槽7牢固插接配合成一体。所述凸块6可以呈向两侧扩展凸出的形状。所述凸块6可以呈梯形。所述凸块6呈条状，所述凹槽7呈两槽壁平行于篮体1的底面、槽口背向所述侧面的爪形槽。

再再再进一步，所述篮体1的每一侧面可以有至少一个所述凸块6和至少一个所述凹槽7。

再再进一步，所述连接部件为，设置在所述篮体1的侧面且平行于所述侧面的插片8和可与所述插片8牢固插接配合的插槽9。所述插片8的一端固定在所述篮体1的侧面。所述插片8与所述插槽9可以在水平方向插接。

进一步，所述篮体1呈方形或者圆形。

进一步，所述镂空清洗槽4的侧壁5相对篮体1的底面倾斜设置。

再进一步，所述镂空清洗槽4呈若干“S”形或者反“S”形依次首尾连接的形状。

再进一步，所述镂空清洗槽4呈同心圆或者同心口字的形状。

再进一步，所述镂空清洗槽4呈螺旋线渐开或者回字渐开的形状。

本实用新型一种基片清洗篮在使用时，位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3可以承载镂空清洗槽4中的基片，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。当采用提杆2设置在篮体1的中部的结构时，整个清洗篮的平稳性增加，降低了清洗篮侧翻的可能性；清洗篮的篮体1的侧面设置有连接部件，当清洗篮包括两个或两个以上所述篮体1时，所有篮体1的底面均位于同一平面，篮体1与篮体1之间通过所述连接部件牢固连接，可连接多个篮体1，实现基片的批量清洗，提高清洗作业效率，节省清洗液；当采用若干“S”形或者反“S”形依次首尾连接的形状、同心圆或者同心口字的形状以及螺旋线渐开或者回字渐开的形状时，还可以清洗各种长度规格的刚性或柔性基片；当镂空清洗槽4的侧壁5相对篮体1的底面倾斜设置时，可着重清洗基片有清洁度要求、需着重清洗的侧面；根据清洗槽的形状、多个清洗篮连接进行批量清洗的需要或者外部清洗装置的形状等因素，篮体1可选择采用方形或者圆形。

附图说明

图1是一种镂空清洗槽呈若干 “S”形依次首尾连接的形状的清洗篮的主视图

图2是图1所示清洗篮的左视图。

图3是图1所示清洗篮的俯视图。

图4是图3中标记A处的局部放大图。

图5是一种镂空清洗槽呈若干反“S”形依次首尾连接的形状的清洗篮的主视图。

图6是图5所示清洗篮的左视图。

图7是图5所示清洗篮的俯视图。

图8是图7中标记A处的局部放大图。

图9是由5个图5所示清洗篮的篮体插接成一体的清洗篮的俯视图。

图10是一种镂空清洗槽呈同心圆形的清洗篮的主视图。

图11是图10所示清洗篮的左视图。

图12是图10所示清洗篮的俯视图。

图13是图12中标记A处的局部放大图。

图14是一种镂空清洗槽呈同心口字形的清洗篮的主视图。

图15是图14所示清洗篮的左视图。

图16是图14所示清洗篮的俯视图。

图17是图16中标记A处的局部放大图。

图18是由5个图14所示清洗篮的篮体插接成一体的清洗篮的俯视图。

图19是一种镂空清洗槽呈螺旋线渐开形状的清洗篮的主视图。

图20是图19所示清洗篮的左视图。

图21是图19所示清洗篮的俯视图。

图22是图21中标记A处的局部放大图。

图23是一种镂空清洗槽呈回字渐开形状的清洗篮的主视图。

图24是图23所示清洗篮的左视图。

图25是图23所示清洗篮的俯视图。

图26是图25中标记A处的局部放大图。

图27是由5个图23所示清洗篮的篮体插接成一体的清洗篮的俯视图。

图28是一种镂空清洗槽的侧壁相对篮体的底面倾斜设置的清洗篮的主视图。

图29是图28所示清洗篮的左视图。

图30是图28所示清洗篮的俯视图。

图31是图30中标记A处的局部放大图。

附图标记：1篮体。2提杆。3横梁。4镂空清洗槽。5镂空清洗槽的侧壁。6凸块。7凹槽。8插片。9插槽。A俯视图的局部。B-B局部剖切标注。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案以及优点更加清楚，下面将结合附图和具体实施例对本发明做进一步的阐释。显然，以下所描述的仅是本发明的部分具体实施例，并非全部实施例。

图1、图2和图3所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，镂空清洗槽4呈若干“S”形依次首尾连接的形状，篮体1呈方形，提杆2设置在篮体1的中部。图4给出了俯视图图3中标记A处的局部放大图。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮不仅适用于清洗小尺寸的刚性或柔性基片，也适用于清洗长尺寸的柔性基片。清洗小尺寸的刚性或柔性基片时，基片不弯曲放置在镂空清洗槽4中，由横梁3承载；清洗长尺寸柔性基片时，基片随着镂空清洗槽4的形状弯曲放置，由横梁3承载。

图5、图6和图7所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，在篮体1的侧面设置有平行于侧面的插片8和可与插片8牢固插接配合的插槽9，插片8与插槽9可以在水平方向插接，镂空清洗槽4呈若干反“S”形依次首尾连接的形状，篮体1呈方形，提杆2设置在篮体1的中部。为了使插槽9表达更清楚，主视图图5作了局部剖切，剖切位置如图7中B-B所示。图8给出了俯视图图7中标记A处的局部放大图。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮不仅适用于清洗小尺寸的刚性或柔性基片，也适用于清洗长尺寸的柔性基片。清洗小尺寸的刚性或柔性基片时，基片不弯曲放置在镂空清洗槽4中，由横梁3承载；清洗长尺寸柔性基片时，基片随着镂空清洗槽4的形状弯曲放置，由横梁3承载。图9给出了一种由5个图5所示清洗篮的篮体通过插条8和插槽9插接成一体的清洗篮的俯视图，所有篮体1的底面都位于同一平面上，通过插条8从侧面水平插入插槽9实现牢固插接配合，连接多个清洗篮，实现基片的批量清洗，提高清洗作业效率，节省清洗液。

图10、图11和图12所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，镂空清洗槽4呈同心圆形状，篮体1呈圆形，提杆2设置在篮体1的中部。图13给出了俯视图图12中标记A处的局部放大图。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮适用于清洗柔性基片。清洗柔性基片时，基片随着镂空清洗槽4的形状弯曲放置，由横梁3承载。

图14、图15和图16所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，篮体1的侧面设置有凸出的凸块6和可与凸块6牢固插接配合的凹槽7，凸块6向两侧扩展凸出呈梯形，镂空清洗槽4呈同心口字形状，篮体1呈方形，提杆2设置在篮体1的中部。图17给出了俯视图图16中标记A处的局部放大图。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮不仅适用于清洗小尺寸的刚性或柔性基片，也适用于清洗长尺寸的柔性基片。清洗小尺寸的刚性或柔性基片时，将待洗基片不弯曲放入合适边长的口字形镂空清洗槽4中，由横梁3承载；清洗长尺寸的柔性基片时，将待洗基片放入合适边长或周长的口字形镂空清洗槽4中，由横梁3承载。图18给出了一种由5个图5所示清洗篮的篮体通过凸块6和凹槽7插接成一体的清洗篮的俯视图，所有篮体1的底面都位于同一平面上，将凸块6插入与之配合的凹槽7中实现牢固插接，连接多个清洗篮，实现基片的批量清洗，提高清洗作业效率，节省清洗液。

图19、图20和图21所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，镂空清洗槽4呈螺旋线渐开形状，篮体1呈圆形，提杆2设置在篮体1的中部。图22给出了俯视图图21中标记A处的局部放大图。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮适用于清洗柔性基片。清洗柔性基片时，基片随着镂空清洗槽4的形状弯曲放置，由横梁3承载。

图23、图24和图25所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，篮体1的侧面设置有凸出的凸块6和可与凸块6牢固插接配合的凹槽7，凸块6呈条状，凹槽7呈两槽壁平行于篮体1的底面、槽口背向篮体1的侧面的爪形槽，镂空清洗槽4呈回字渐开形状，篮体1呈方形，提杆2设置在篮体1的中部。图26给出了俯视图图25中标记A处的局部放大图。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮不仅适用于清洗小尺寸的刚性或柔性基片，也适用于清洗长尺寸的柔性基片。清洗小尺寸的刚性或柔性基片时，将待洗基片不弯曲放入合适边长的镂空清洗槽4中，由横梁3承载；清洗长尺寸的柔性基片时，基片随着镂空清洗槽4的形状弯曲放置，由横梁3承载。图27给出了一种由5个图5所示清洗篮的篮体通过凸块6和凹槽7插接成一体的清洗篮的俯视图，所有篮体1的底面都位于同一平面上，将凸块6插入与之配合的凹槽7中实现牢固插接，连接多个清洗篮，实现基片的批量清洗，提高清洗作业效率，节省清洗液。

图28、图29和图30所示清洗篮包括篮体1和提杆2，篮体1包括镂空清洗槽4和位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，镂空清洗槽4的侧壁5相对篮体1的底面倾斜设置，篮体1呈方形，提杆2设置在篮体1的中部。图31给出了俯视图图30中标记A处的局部放大图。为了使横梁3、镂空清洗槽4和侧壁5的位置关系表达得更清楚，左视图29作了局部剖切，剖切位置如图30中B-B所示。提杆2设置在篮体1的中部，使整个清洗篮更加平稳，不易侧翻。清洗时，将基片放入镂空清洗槽4中，由横梁3承载基片，横梁3向下凸出形成基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。该清洗篮适用于清洗对某一面有清洁度要求的基片，对该面进行着重清洗。清洗时，待洗基片放置在镂空清洗槽4中，由横梁3承载，基片有清洁度要求、需着重清洗的一面朝向清洗液，另一面靠在侧壁5上，使有清洁度要求、需着重清洗的一面与清洗液的充分接触，有利于提升该面的清洗效果。

以上所述为本实用新型的最佳实施例，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍落入本实用新型的保护范围内。

一种基片清洗篮专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。