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一种具有等离子体聚焦性能的折线型纳米间隙及其制备方法

一种具有等离子体聚焦性能的折线型纳米间隙及其制备方法

IPC分类号 : B81C1/00,B81B1/00,B82Y40/00

申请号
CN201811402242.8
可选规格

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  • 专利类型:
  • 法律状态: 有权
  • 公开号: CN109292732B
  • 公开日: 2019-02-01
  • 主分类号: B81C1/00
  • 专利权人: 吉林大学

专利摘要

专利摘要

一种具有等离子体聚焦性能的折线型纳米间隙及其制备方法,属于材料技术领域。本方法涉及到纳米切割技术、物理气相沉积技术、光刻技术、湿法刻蚀技术以及等离子体刻蚀技术。整个过程操作简便,过程低耗清洁,可控性高。通过控制湿法刻蚀的时间和条件,可以制备不同尖端角度的纳米折线;同时通过控制沉积间隔层的厚度,可以制备一系列不同尺寸的纳米间隙;通过控制尖端角度和纳米间隙的大小,从而实现不同程度的纳米聚焦以及尖端与间隙的耦合作用。这种简单、低成本、高效制备的纳微结构,同时具备尖端和间隙两种热点,具有更强的电磁场增强性能,可以更好的运用到新型的光学器件和电学器件等实际应用中。

一种具有等离子体聚焦性能的折线型纳米间隙及其制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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