专利摘要

本发明公开了一种半导体材料激光电化学复合微加工方法及装置，属于特种加工领域，该方法是利用单晶硅等半导体材料电导率随温度升高而显著增强的特性，由激光束加热半导体材料，定域增强加工区域附近材料导电性能，形成一条电流优先通过的导电通道，在此基础上以偏置电液束形式引入电解加工，实现加工区域附近的激光电化学“自耦合”复合加工，无需“对刀”，不仅确保激光加工过程中无表面残渣附着，还可强化冷却作用，达到减小热损伤、降低残余应力、提高加工表面质量的目的；该装置包括激光器、外部光路、电解电源、稳定射流生成装置；其装置可生成稳定低压电解液射流，并实现冲击角度与位置调节，确保实现激光束与冲击射流相对位置精确调节。

专利附图

一种半导体材料激光电化学复合微加工方法及装置专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。