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一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法

一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法

IPC分类号 : G01R31/26

申请号
CN201711035073.4
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2017-10-30
  • 公开号: CN107942220A
  • 公开日: 2018-04-20
  • 主分类号: G01R31/26
  • 专利权人: 桂林电子科技大学

专利摘要

本发明涉及一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法,主要解决现有技术测试时栅极应力撤销后恢复效应对测量结果产生影响的技术问题。通过测试阀值电压Vth以及该阀值电压对应的漏极电流Id0,在栅极增加应力,测试应力前和应力后相同感应电压下对应的漏极最小电流Idsmeasure,找到Idsmeasure与Id0相等的点对应的施加应力后的阀值电压Vths,根据公式ΔV=Vths-Vth计算出没有恢复效应的阀值偏移量的影响的技术方案,较好的解决了该问题,能够用于偏压温度不稳定性的测试。

专利附图

一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法

一种应用于MOS器件的偏压温度不稳定性的测试方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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