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一种双辉渗金属源极辅助阴极筒

一种双辉渗金属源极辅助阴极筒

IPC分类号 : C23C14/48

申请号
CN201610805999.6
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2016-09-06
  • 公开号: CN106244992A
  • 公开日: 2016-12-21
  • 主分类号: C23C14/48
  • 专利权人: 桂林电子科技大学

专利摘要

本发明公开了一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,属于离子渗金属辅助阴极技术领域。一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,包括呈筒身和基座,所述筒身设置在基座上端;所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔,所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧;所述基座为中空结构,且基座和筒身之间隔有底盘;所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽,且围绕该凹槽还设有若干的通孔。本发明提供能够防止源极熔融而造成的装置报废,保证渗金属均匀和实现多元、多物理形态的双辉渗金属。

专利附图

一种双辉渗金属源极辅助阴极筒

一种双辉渗金属源极辅助阴极筒专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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