专利摘要

本发明公开了一种大面积二维氮化镓薄膜的制备方法，以双温区管式炉作为反应装置，在管式炉内两个温区分别放置有内置尿素的瓷舟和涂覆有硝酸镓溶液的蓝宝石基底，在保护气氛条件下，分别对瓷舟和蓝宝石基底进行升温，控制升温速率在瓷舟处达到130～138℃同时蓝宝石基底处的温度为850～950℃，保温使尿素气体与蓝宝石基底的硝酸镓溶液分解产物气相沉积形成大面积二维氮化镓薄膜。本发明的大面积二维氮化镓薄膜的制备方法具有厚度可控性强、面积大、均匀性好和生长速度快的特点。

专利附图

一种大面积二维氮化镓薄膜及其制备方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。