专利摘要
本发明涉及单晶金刚石材料的制造方法。一种CVD单晶金刚石的二维扩大方法,其特征在于包括如下步骤:a.选将单晶金刚石籽晶置于中心开有孔的衬底托之内,使得单晶金刚石籽晶暴露;衬底托由金属钼做成;b. 将带有单晶金刚石籽晶的衬底托放入沉积室;对沉积室抽真空;c. 通过微波等离子体化学气相沉积法产生等离子体:向沉积室通入氢气和甲烷,调节气体流量、微波功率和气压,沉积室内部气体吸收微波能量激发产生等离子体;从使得单晶金刚石能够在顶部表面和四个侧面同时生长,实现单晶金刚石的二维扩大;d.剥离,即可获得大尺寸的单晶金刚石。该方法涉及的是利用微波等离子体化学气相沉积法在单晶金刚石衬底上二维生长单晶金刚石,从而扩大单晶金刚石的尺寸。
专利附图
CVD单晶金刚石的二维扩大方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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