专利摘要

本发明提供了一种用于原子层沉积仪的控制设备，包括单片机控制系统、温控模块和保护模块，单片机控制系统包括单片机、程序输入单元、时间控制单元、信号控制单元、执行单元和显示单元，程序输入单元、时间控制单元、信号控制单元和显示单元均与单片机连接，信号控制单元的输出端通过执行单元连接至执行元件；温控模块与单片机及执行元件连接；保护模块包括与单片机连接的温度保护单元和断电保护单元。本发明避免了采用计算机或工控机多级间接控制执行单元的复杂性，直接采用单片机现场控制，以此控制设备为核心的原子层沉积仪具有定时可控泵入各种前驱体、体系温度及过热、停电保护以及报警的功能，显著降低了制造成本。

专利附图

一种用于原子层沉积仪的控制设备专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。