专利摘要

本发明公开一种薄膜的热分解制备方法，其特征在于包括如下步骤：步骤a：设计一款薄膜制备设备；步骤b：将压缩管的进口端与雾化器的气溶胶输出端连通，并在雾化器内加入待热解反应的前驱体液体；步骤c：先启动雾化器，待前驱体液体被雾化产生气溶胶后；步骤d：热解反应时可透过石英管及上盖板观察内部的反应情况；步骤e：等待一段时间待衬底冷却后将衬底取出。本制备方法的制备设备设置用于水平放置衬底的沉积舟，该沉积舟具有热解反应腔，并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定，从而让衬底近表面气流场、温度场恒定，最终保证热解反应的顺利进行，大幅提高薄膜的成膜质量。

专利附图

一种薄膜的热分解制备方法专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。