专利摘要
一种完全可控弯折角的折点纳米线阵列的制备方法,包括如下步骤:(1)将硅或III‑V族半导体材料的工件进行清洗干燥;(2)在工件上沉积单层聚苯乙烯(PS)小球,通过反应离子刻蚀减小PS小球的直径后,依次蒸镀钛(Ti)和金(Au)层;(3)根据不同的刻蚀角度配置相应的刻蚀液,刻蚀液可沿着工件的某一晶向进行刻蚀;(4)将工件放入对应起始角度的刻蚀液中,通过刻蚀时间控制刻蚀长度;(5)取出工件清洗干燥处理后,浸入预设刻蚀角度对应的刻蚀液中进行刻蚀,通过刻蚀时间控制刻蚀长度;刻蚀后进行清洗干燥处理;若需多个弯折点,则重复步骤(4)和步骤(5);本发明实现在工件上形成完全可控弯折角的折点纳米线阵列,操作简单且成本低廉。
专利附图
一种完全可控弯折角的折点纳米线阵列的制备方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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