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一种日盲紫外雪崩光电探测器及其制备方法

一种日盲紫外雪崩光电探测器及其制备方法

IPC分类号 : H01L31/0336; H01L31/107; H01L31/18

申请号
CN202010169162.3
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2020/3/12
  • 公开号: CN111341862A
  • 公开日: 2020/6/26
  • 主分类号: H01L31/0336
  • 专利权人: 南通大学

专利摘要

本发明公开了一种日盲紫外雪崩光电探测器及其制备方法,其中光电探测器的结构从下至上依次为AlN模板层、AlN缓冲层、n型Alx1Ga1‑x1N层、i型Alx2Ga1‑x2N吸收层、n型GeS分离层、i型Alx3Ga1‑x3N倍增层和p型GaN层;所述n型Alx1Ga1‑x1N层上引出有n型欧姆电极;所述p型GaN层上引出有p型欧姆电极;所述n型GeS分离层分别与i型Alx2Ga1‑x2N吸收层和i型Alx3Ga1‑x3N倍增层采用范德华力键合组合形成。本发明n型分离层采用二维材料GeS替代三维材料AlGaN与上下的i型AlGaN层通过范德华力进行键合在一起,而不是用化学外延生长方法,解决了现有技术中器件提前击穿、界面处产生极化电荷的问题,同时提高了雪崩光电探测器的响应速度。

专利附图

一种日盲紫外雪崩光电探测器及其制备方法

一种日盲紫外雪崩光电探测器及其制备方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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