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一种芯片内部电路断路缺陷的修复方法及装置

一种芯片内部电路断路缺陷的修复方法及装置

IPC分类号 : H01L21/768; H01L21/67

申请号
CN201911206961.7
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2019/11/29
  • 公开号: CN110828374A
  • 公开日: 2020/2/21
  • 主分类号: H01L21/768
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明涉及一种芯片内部电路断路缺陷的修复方法,包括如下步骤:步骤一,检测出芯片的缺陷位置及填充材料的种类与性能参数;步骤二,将所述芯片放置在二维运动平台上,对所述芯片进行定位,标定出芯片上的原点,设定二维运动平台的速度与位移参数;步骤三,根据所述填充材料的性能参数设置两束激光的参数;调节两束激光三维入射角度与Z轴的焦距,使得两束激光的聚焦点照射所述芯片的断路处的任一端,将该端的填充材料改性为石墨烯;步骤四,所述二维运动平台带动所述芯片移动,使两束所述激光的聚焦点移动到所述断路处的另一端,并使移动轨迹连通所述芯片的断路处的两端。本发明能更加方便焊接电路内部的断路。

专利附图

一种芯片内部电路断路缺陷的修复方法及装置

一种芯片内部电路断路缺陷的修复方法及装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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