专利摘要
本发明公开了一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量方法及其装置。它利用复色正弦条纹平行光经过轴向色散型光学系统后沿轴向依次色散并一一对应地聚焦于不同的轴向深度位置、以及轴向色散的各单色正弦条纹的调制度随轴向深度变化且在其焦面位置附近达到极大值，建立了测量所需的“光谱—调制度—深度”三者之间的唯一性编码，仅需多帧（如三帧）相移（或单帧）色散光谱编码图像，即可实现对被测元件三维形貌分布的无机械式扫描、全场非接触、快速（动态甚至瞬态）高精度测量。
专利附图
一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量方法及其装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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