专利摘要

本发明公开了一种多波长可调谐显微干涉的测量方法及其装置。多波长可调谐激光器经调控同步或分时输出三路波长可调谐激光信号，经合束光纤复合为一路复合激光信号，聚焦耦合至匀速旋转的毛玻璃片表面，再经准直扩束镜后成为平行光入射至分束器表面，反射进入干涉显微物镜后，照射至载物台上的被测元件表面，其反射信号再依次通过干涉显微物镜和分束器，经成像镜头耦合至彩色相机靶面，由计算机实现对输出信号的调控和对采集数据的同步控制。本发明采用多个不同波长的单波长可调谐激光器模块的技术方案，实现光学移相和多波长干涉检测，尤其适用于对面形变化复杂、非连续的微结构元件的快速、精确测量，可有效抑制因机械部件扫描移动引入的测量误差。

专利附图

一种多波长可调谐显微干涉的测量方法及其装置专利购买费用说明

Q：办理专利转让的流程及所需资料

A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。

1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2：按规定缴纳著录项目变更手续费。

3：同时提交相关证明文件原件。

4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q：专利转让变更，多久能出结果

A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。