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一种LED生产用光刻装置

一种LED生产用光刻装置

IPC分类号 : G03F7/20

申请号
CN202020985133.X
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2020-06-02
  • 公开号: CN212256007U
  • 公开日: 2020-12-29
  • 主分类号: G03F7/20
  • 专利权人: 潘仲中

专利摘要

本实用新型涉及LED生产技术领域,且公开了一种LED生产用光刻装置,包括底座,所述底座的底部活动连接有万向轮,所述底座的顶部活动连接有气压缸,所述气压缸的输出端活动连接有气压杆,所述气压杆的一端固定连接有支撑座,所述支撑座的一侧开设有凹槽,所述凹槽的内壁开设有滑槽,所述滑槽的内壁活动连接有滑块。该LED生产用光刻装置,达到了散热效果较好的目的,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题,便于将装置内部使用时产生的热量快速散出,降低对装置的损耗,利于延长装置的使用寿命,且结构灵活便于调节装置的使用高度,提高了装置的灵活性,便于使用者根据实际使用需求进行调节和移动,满足了使用者的使用需求。

权利要求

1.一种LED生产用光刻装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的底部活动连接有万向轮(2),所述底座(1)的顶部活动连接有气压缸(3),所述气压缸(3)的输出端活动连接有气压杆(4),所述气压杆(4)的一端固定连接有支撑座(5),所述支撑座(5)的一侧开设有凹槽(6),所述凹槽(6)的内壁开设有滑槽(7),所述滑槽(7)的内壁活动连接有滑块(8),所述滑块(8)的外壁固定连接有盒体(9),所述盒体(9)的内壁活动连接有电机(10),所述电机(10)的输出轴通过联轴器活动连接有风扇(11),所述支撑座(5)的顶部开设有卡槽(13);

所述卡槽(13)的内壁活动连接有卡块(14),所述卡块(14)的外壁固定连接有盖体(15),所述支撑座(5)的顶部活动连接有光刻装置本体(16),所述盖体(15)的一侧开设有活动槽(17),所述活动槽(17)的内壁固定连接有固定块(18),所述固定块(18)的外壁活动连接有弹簧(19),所述弹簧(19)的一端活动连接有固定柱(20),所述固定柱(20)的一端固定连接有支撑环(21),所述支撑环(21)的内壁活动连接有支撑杆(22),所述支撑杆(22)的一端活动连接有活动块(23),所述支撑杆(22)的外壁活动连接有活动环(24),所述活动环(24)的外壁活动连接有防护帘(25),所述防护帘(25)的一侧活动连接有避光层(26),所述防护帘(25)的另一侧活动连接有固定珠(27)。

2.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述支撑座(5)为凹形支撑座,且支撑座(5)通过卡槽(13)和卡块(14)与盖体(15)活动连接,且卡槽(13)的形状大小与卡块(14)的形状大小均相互匹配。

3.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述凹槽(6)的内壁活动连接有隔网(12),且隔网(12)的宽度与盒体(9)的宽度相等,且隔网(12)的垂直中线与盒体(9)的垂直中线处于同一位置。

4.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述风扇(11)的数量为两个至四个,且每一个至两个风扇(11)为一组,且两组风扇(11)以盒体(9)的垂直中线为对称轴对称设置,所述盒体(9)通过滑块(8)和滑槽(7)与凹槽(6)活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述固定柱(20)为凹形固定柱,且固定柱(20)通过弹簧(19)与固定块(18)活动连接,且固定柱(20)的形状大小与弹簧(19)和固定块(18)组合的形状大小均相互匹配,且固定块(18)为凸形固定块。

6.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述支撑杆(22)的一端分别贯穿支撑环(21)的内壁和活动环(24)的内壁并延伸至活动块(23)的内壁,且支撑杆(22)的两端均设置有螺纹。

7.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述固定珠(27)的数量为一个至六个,且一个至六个固定珠(27)等间距设置在防护帘(25)的一侧,所述避光层(26)为银胶布避光层。

说明书

技术领域

本实用新型涉及LED生产技术领域,具体为一种LED生产用光刻装置。

背景技术

光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂将掩膜版上的图形转移到基片上的技术,其主要过程为:首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学反应;再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶,使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上;最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。

现有的一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差,装置在使用时产生的热量无法及时散出,容易加速对装置的损耗,不利于延长装置的使用寿命,并且不便于调节使用,不方便对装置的高度进行调节且不便于移动,降低了装置的灵活性,不便于使用者进行使用,需要对现有的装置进行改进。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种LED生产用光刻装置,具备散热效果较好等优点,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题。

(二)技术方案

为实现上述该LED生产用光刻装置散热效果较好的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种LED生产用光刻装置,包括底座,所述底座的底部活动连接有万向轮,所述底座的顶部活动连接有气压缸,所述气压缸的输出端活动连接有气压杆,所述气压杆的一端固定连接有支撑座,所述支撑座的一侧开设有凹槽,所述凹槽的内壁开设有滑槽,所述滑槽的内壁活动连接有滑块,所述滑块的外壁固定连接有盒体,所述盒体的内壁活动连接有电机,所述电机的输出轴通过联轴器活动连接有风扇,所述支撑座的顶部开设有卡槽。

所述卡槽的内壁活动连接有卡块,所述卡块的外壁固定连接有盖体,所述支撑座的顶部活动连接有光刻装置本体,所述盖体的一侧开设有活动槽,所述活动槽的内壁固定连接有固定块,所述固定块的外壁活动连接有弹簧,所述弹簧的一端活动连接有固定柱,所述固定柱的一端固定连接有支撑环,所述支撑环的内壁活动连接有支撑杆,所述支撑杆的一端活动连接有活动块,所述支撑杆的外壁活动连接有活动环,所述活动环的外壁活动连接有防护帘,所述防护帘的一侧活动连接有避光层,所述防护帘的另一侧活动连接有固定珠。

优选的,所述支撑座为凹形支撑座,且支撑座通过卡槽和卡块与盖体活动连接,且卡槽的形状大小与卡块的形状大小均相互匹配。

优选的,所述凹槽的内壁活动连接有隔网,且隔网的宽度与盒体的宽度相等,且隔网的垂直中线与盒体的垂直中线处于同一位置。

优选的,所述风扇的数量为两个至四个,且每一个至两个风扇为一组,且两组风扇以盒体的垂直中线为对称轴对称设置,所述盒体通过滑块和滑槽与凹槽活动连接。

优选的,所述固定柱为凹形固定柱,且固定柱通过弹簧与固定块活动连接,且固定柱的形状大小与弹簧和固定块组合的形状大小均相互匹配,且固定块为凸形固定块。

优选的,所述支撑杆的一端分别贯穿支撑环的内壁和活动环的内壁并延伸至活动块的内壁,且支撑杆的两端均设置有螺纹。

优选的,所述固定珠的数量为一个至六个,且一个至六个固定珠等间距设置在防护帘的一侧,所述避光层为银胶布避光层。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种LED生产用光刻装置,具备以下有益效果:

1、该LED生产用光刻装置,通过气压缸、支撑座、凹槽、滑槽、滑块、盒体、电机、和风扇的相互配合使用,达到了散热效果较好的目的,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题,便于将装置内部使用时产生的热量快速散出,降低对装置的损耗,利于延长装置的使用寿命,且结构灵活便于调节装置的使用高度,提高了装置的灵活性,便于使用者根据实际使用需求进行调节和移动,满足了使用者的使用需求。

2、该LED生产用光刻装置,通过设置的防护帘、避光层和固定珠,达到了避光遮光的目的,便于阻挡外部紫外线和光线进入到装置内部,减少外部因素对光刻工作的影响,且能够减少装置使用时对外部产生的辐射影响,结构灵活便于使用者进行使用。

3、该LED生产用光刻装置,通过支撑环、活动块和活动环,达到了便于拆卸与安装的目的,且结构灵活便于使用者对装置及内部零件进行清理与更换,利于延长装置的使用时寿命,结构灵活提高了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型侧剖图;

图3为本实用新型支撑杆结构示意图;

图4为本实用新型图3中A处放大图。

图中:1、底座;2、万向轮;3、气压缸;4、气压杆;5、支撑座;6、凹槽;7、滑槽;8、滑块;9、盒体;10、电机;11、风扇;12、隔网;13、卡槽;14、卡块;15、盖体;16、光刻装置本体;17、活动槽;18、固定块;19、弹簧;20、固定柱;21、支撑环;22、支撑杆;23、活动块;24、活动环;25、防护帘;26、避光层;27、固定珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,一种LED生产用光刻装置,包括底座1,底座1的底部活动连接有万向轮2,底座1的顶部活动连接有气压缸3,气压缸3的输出端活动连接有气压杆4,气压缸3和气压杆4的活动升降,便于调节装置的使用高度,气压杆4的一端固定连接有支撑座5,支撑座5便于进行支撑和固定,支撑座5的一侧开设有凹槽6,凹槽6的内壁开设有滑槽7,滑槽7的内壁活动连接有滑块8,凹槽6、滑槽7和滑块8便于滑动安装,便于拆卸和清理,滑块8的外壁固定连接有盒体9,盒体9便于进行拆卸与安装,凹槽6的内壁活动连接有隔网12,且隔网12的宽度与盒体9的宽度相等,且隔网12的垂直中线与盒体9的垂直中线处于同一位置,盒体9的内壁活动连接有电机10,电机10的输出轴通过联轴器活动连接有风扇11,电机10和风扇11便于加速空气流通,达到散热的作用,风扇11的数量为两个至四个,且每一个至两个风扇11为一组,且两组风扇11以盒体9的垂直中线为对称轴对称设置,盒体9通过滑块8和滑槽7与凹槽6活动连接,通过气压缸3、支撑座5、凹槽6、滑槽7、滑块8、盒体9、电机10、和风扇11的相互配合使用,达到了散热效果较好的目的,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题,便于将装置内部使用时产生的热量快速散出,降低对装置的损耗,利于延长装置的使用寿命,且结构灵活便于调节装置的使用高度,提高了装置的灵活性,便于使用者根据实际使用需求进行调节和移动,满足了使用者的使用需求,支撑座5的顶部开设有卡槽13。

卡槽13的内壁活动连接有卡块14,卡块14的外壁固定连接有盖体15,支撑座5为凹形支撑座,且支撑座5通过卡槽13和卡块14与盖体15活动连接,且卡槽13的形状大小与卡块14的形状大小均相互匹配,支撑座5的顶部活动连接有光刻装置本体16,盖体15的一侧开设有活动槽17,活动槽17的内壁固定连接有固定块18,固定块18的外壁活动连接有弹簧19,弹簧19的一端活动连接有固定柱20,固定柱20为凹形固定柱,且固定柱20通过弹簧19与固定块18活动连接,且固定柱20的形状大小与弹簧19和固定块18组合的形状大小均相互匹配,且固定块18为凸形固定块,固定柱20的一端固定连接有支撑环21,支撑环21的内壁活动连接有支撑杆22,支撑杆22的一端活动连接有活动块23,支撑杆22的外壁活动连接有活动环24,支撑杆22的一端分别贯穿支撑环21的内壁和活动环24的内壁并延伸至活动块23的内壁,且支撑杆22的两端均设置有螺纹,通过支撑环21、活动块23和活动环24,达到了便于拆卸与安装的目的,且结构灵活便于使用者对装置及内部零件进行清理与更换,利于延长装置的使用时寿命,结构灵活提高了装置的实用性,活动环24的外壁活动连接有防护帘25,防护帘25的一侧活动连接有避光层26,防护帘25的另一侧活动连接有固定珠27,固定珠27的数量为一个至六个,且一个至六个固定珠27等间距设置在防护帘25的一侧,避光层26为银胶布避光层,银胶布是一种涂层加工工艺,就是在面料上涂一层或多层银胶,具有遮光,防辐射等功能,通过设置的防护帘25、避光层26和固定珠27,达到了避光遮光的目的,便于阻挡外部紫外线和光线进入到装置内部,减少外部因素对光刻工作的影响,且能够减少装置使用时对外部产生的辐射影响,结构灵活便于使用者进行使用。

在使用时,通过气压杆4和气压缸3的活动升降带动支撑座5进行高度调节,再通过电机10带动风扇11进行转动并对光刻装置本体16进行散热处理,将防护帘25通过活动环24穿过支撑杆22的外部并与支撑环21进行连接固定,便于减少辐射的影响。

综上所述,该LED生产用光刻装置,达到了散热效果较好的目的,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题,提高了装置的避光性减少辐射的影响,且结构灵活便于拆卸与安装,满足了使用者的使用需求。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

一种LED生产用光刻装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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